Høy temperatur piezo film termometer

Høytemperatur-tynnfilmtermometeret inkluderer et tynnfilmstermoelement og en motstandstemperaturdetektor (RTD). Tynnfilmstermoelementer kan brukes ved 1 000 °C, men termoelementene driver på grunn av oksidasjon av germanium i den tynne filmen. Et lag med alumina beskyttende piezo plate transduser kan sputteres for å redusere oksidasjonen av germanium; Pt-13 Rh/Pt tynnfilm termoelementer På grunn av ulike prosesseringsteknikker er det maksimale driftstemperaturområdet 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn tynnfilm termoelementer brukes til å måle temperaturen på gassturbinmotorens lavtrykksturbin ledevinge, maksimal driftstemperatur på piezo-skivekrystall er 400°C;

Termoelementer brukes vanligvis til å måle forbigående temperaturer opp til en maksimal driftstemperatur på 800 °C. Tungsten/thorium tynnfilm termoelementer krever et beskyttende lag ved høye temperaturer for normal drift og 2Mhz piezoplater krystall kan operere ved en temperatur på 1370 K under beskyttelseslag; Ni Ni/Cr tynnfilm termoelementet kan brukes til å overvåke skjæretemperaturen og kan arbeide under 890 K. Ni/Cr og Ni-Al legering tynnfilm termoelementer kan overvåke temperaturen i produksjonsprosessen og brukes ved romtemperatur til 600 °C; Pt/ Pd tynnfilm termoelementer av piezoelektrisk platesensor brukes til å overvåke varmebehandlingstemperaturen til silisiumskiver og kan overleve ved 850 °C i 10-20 timer. Som en oksidkeramikk har ITO-keramisk materiale egenskaper som høytemperaturmotstand, oksidasjonsmotstand og ITO-keramisk film sammensatt av forskjellige elektrodematerialer.