Termometer film piezo suhu tinggi

Termometer film tipis suhu tinggi mencakup termokopel film tipis dan detektor suhu resistansi (RTD). Termokopel film tipis dapat digunakan pada suhu 1.000 °C, tetapi termokopel tersebut menyimpang karena oksidasi germanium dalam film tipis. Lapisan pelindung alumina transduser cakram piezo dapat digagap untuk mengurangi oksidasi germanium; Termokopel film tipis Pt-13 Rh/Pt Karena teknik pemrosesan yang berbeda, kisaran suhu pengoperasian maksimum adalah 900 °C ~ 1 200 °C; Termokopel film tipis NiCr-NiMn digunakan untuk mengukur suhu baling-baling pemandu turbin tekanan rendah mesin turbin gas, suhu operasi maksimum kristal cakram piezo bersuhu 400°C;

Termokopel umumnya digunakan untuk mengukur suhu sementara hingga suhu operasi maksimum 800 °C. Termokopel film tipis tungsten/torium memerlukan lapisan pelindung pada suhu tinggi untuk pengoperasian normal dan 2Kristal cakram piezo Mhz dapat beroperasi pada suhu 1370 K di bawah perlindungan lapisan pelindung; Ni Termokopel film tipis Ni/Cr dapat digunakan untuk memantau suhu pemotongan dan dapat bekerja di bawah 890 K. Termokopel film tipis paduan Ni/Cr dan Ni-Al dapat memantau suhu proses pembuatan dan digunakan pada suhu kamar hingga 600 °C; Termokopel film tipis Pt/ Pd sensor pelat piezoelektrik digunakan untuk memantau suhu perlakuan panas wafer silikon dan dapat bertahan pada suhu 850 °C selama 10-20 jam. Sebagai keramik oksida, bahan keramik ITO memiliki karakteristik tahan suhu tinggi, tahan oksidasi, dan film keramik ITO yang tersusun dari bahan elektroda berbeda.