Високотемпературний п'єзоплівковий термометр

Високотемпературний тонкоплівковий термометр містить тонкоплівкову термопару та детектор температури опору (RTD). Тонкоплівкові термопари можна використовувати при 1000 °C, але термопари дрейфують через окислення германію в тонкій плівці. Захисний шар глинозему п'єзодисковий перетворювач може бути напилений для зменшення окислення германію; Тонкоплівкові термопари Pt-13 Rh/Pt Завдяки різним технологіям обробки максимальний діапазон робочих температур становить 900 °C ~ 1 200 °C; Тонкоплівкові термопари NiCr-NiMn використовуються для вимірювання температури направляючої лопатки турбіни низького тиску газотурбінного двигуна, максимальної робочої температури п'єзодисковий кристал - 400°C;

Термопари зазвичай використовуються для вимірювання перехідних температур до максимальної робочої температури 800 °C. Вольфрам/торієві тонкоплівкові термопари потребують захисного шару при високих температурах для нормальної роботи та 2Кристал п'єзодисків МГц може працювати при температурі 1370 К під захистом захисного шару; Ni Тонкоплівкова термопара Ni/Cr може використовуватися для моніторингу температури різання та може працювати при температурах нижче 890 K. Тонкоплівкові термопари Ni/Cr і Ni-Al сплаву можуть контролювати температуру виробничого процесу та використовуються при кімнатній температурі до 600 °C; Pt/Pd тонкоплівкові термопари П'єзоелектричний пластинчастий датчик використовується для моніторингу температури термообробки кремнієвих пластин і може витримувати при 850 °C протягом 10-20 годин. Як оксидна кераміка керамічний матеріал ITO має характеристики стійкості до високих температур, стійкості до окислення та керамічної плівки ITO, що складається з різних електродних матеріалів.