Termometro piezoelettrico a pellicola per alte temperature

Il termometro a film sottile per alte temperature include una termocoppia a film sottile e un rilevatore di temperatura a resistenza (RTD). Le termocoppie a film sottile possono essere utilizzate a 1 000 °C, ma le termocoppie subiscono uno spostamento dovuto all'ossidazione del germanio nel film sottile. Uno strato di allumina protettivo il trasduttore piezoelettrico può essere spruzzato per ridurre l'ossidazione del germanio; Termocoppie a film sottile Pt-13 Rh/Pt A causa delle diverse tecniche di lavorazione, l'intervallo massimo della temperatura operativa è 900 °C ~ 1 200 °C; Le termocoppie a film sottile NiCr-NiMn vengono utilizzate per misurare la temperatura della pala guida della turbina a bassa pressione del motore a turbina a gas, la temperatura operativa massima di il cristallo del disco piezoelettrico è 400°C;

Le termocoppie vengono generalmente utilizzate per misurare temperature transitorie fino a una temperatura operativa massima di 800 °C. Le termocoppie a film sottile in tungsteno/torio richiedono uno strato protettivo ad alte temperature per il normale funzionamento e 2Il cristallo dei dischi piezoelettrici Mhz può funzionare a una temperatura di 1370 K sotto protezione dello strato protettivo; Ni La termocoppia a film sottile Ni/Cr può essere utilizzata per monitorare la temperatura di taglio e può funzionare al di sotto di 890 K. Le termocoppie a film sottile in lega Ni/Cr e Ni-Al possono monitorare la temperatura del processo di produzione e vengono utilizzate a temperatura ambiente fino a 600 °C; Termocoppie a film sottile Pt/Pd da I sensori a piastra piezoelettrica vengono utilizzati per monitorare la temperatura di trattamento termico dei wafer di silicio e possono sopravvivere a 850 °C per 10-20 ore. In quanto ossido ceramico, il materiale ceramico ITO presenta caratteristiche di resistenza alle alte temperature, resistenza all'ossidazione e film ceramico ITO composto da diversi materiali per elettrodi.