高温用ピエゾフィルム温度計

高温薄膜温度計には、薄膜熱電対と測温抵抗体 (RTD) が含まれています。薄膜熱電対は 1,000 °C で使用できますが、薄膜内のゲルマニウムの酸化により熱電対がドリフトします。アルミナの保護層 ピエゾディスクトランスデューサを スパッタリングしてゲルマニウムの酸化を減らすことができます。 Pt-13 Rh/Pt 薄膜熱電対 処理技術が異なるため、最大動作温度範囲は 900 °C ～ 1 200 °C です。 NiCr-NiMn 薄膜熱電対は、ガス タービン エンジンの低圧タービン ガイド ベーンの温度、つまり最高動作温度を測定するために使用されます。 ピエゾディスククリスタル は400℃です。

熱電対は通常、最大動作温度 800 °C までの過渡温度を測定するために使用されます。タングステン/トリウム薄膜熱電対は、通常の動作のために高温で保護層を必要とします。 2Mhz ピエゾ ディスク結晶は、 保護層保護下では 1370 K の温度で動作できます。 Ni Ni/Cr 薄膜熱電対は、切削温度の監視に使用でき、890 K 未満で動作します。Ni/Cr および Ni-Al 合金薄膜熱電対は、製造プロセスの温度を監視でき、室温から 600 °C まで使用されます。 Pt/Pd 薄膜熱電対 圧電プレートセンサー はシリコンウェーハの熱処理温度を監視するために使用され、850 °C で 10 ～ 20 時間耐えることができます。 ITOセラミック材料は酸化物セラミックとして、耐高温性、耐酸化性などの特性を持ち、異なる電極材料で構成されたITOセラミック膜です。