Termometer filem piezo suhu tinggi

Termometer filem nipis suhu tinggi termasuk termokopel filem nipis dan pengesan suhu rintangan (RTD). Termokopel filem nipis boleh digunakan pada 1 000 °C, tetapi termokopel hanyut disebabkan pengoksidaan germanium dalam filem nipis. Lapisan pelindung alumina transduser cakera piezo boleh terbantut untuk mengurangkan pengoksidaan germanium; Termokopel filem nipis Pt-13 Rh/Pt Disebabkan oleh teknik pemprosesan yang berbeza, julat suhu operasi maksimum ialah 900 °C ~ 1 200 °C; Termokopel filem nipis NiCr-NiMn digunakan untuk mengukur suhu ram pemandu turbin tekanan rendah enjin turbin gas, suhu operasi maksimum bagi hablur cakera piezo ialah 400°C;

Termokopel biasanya digunakan untuk mengukur suhu sementara sehingga suhu operasi maksimum 800 °C. Termokopel filem nipis tungsten/torium memerlukan lapisan pelindung pada suhu tinggi untuk operasi biasa dan 2Kristal cakera piezo MHz boleh beroperasi pada suhu 1370 K di bawah perlindungan lapisan pelindung; Ni Termokopel filem nipis Ni/Cr boleh digunakan untuk memantau suhu pemotongan dan boleh berfungsi di bawah 890 K. Termokopel filem nipis aloi Ni/Cr dan Ni-Al boleh memantau suhu proses pembuatan dan digunakan pada suhu bilik hingga 600 °C; Pt/ Pd termokopel filem nipis daripada sensor plat piezoelektrik digunakan untuk memantau suhu rawatan haba wafer silikon dan boleh bertahan pada 850 °C selama 10-20 jam. Sebagai seramik oksida, bahan seramik ITO mempunyai ciri-ciri rintangan suhu tinggi, rintangan pengoksidaan, dan filem seramik ITO yang terdiri daripada bahan elektrod yang berbeza.