उच्च तापमान पीजो फिल्म थर्मामीटर

उच्च तापमान पतली फिल्म थर्मामीटर में एक पतली फिल्म थर्मोकपल और एक प्रतिरोध तापमान डिटेक्टर (आरटीडी) शामिल है। पतली-फिल्म थर्मोकपल का उपयोग 1 000 डिग्री सेल्सियस पर किया जा सकता है, लेकिन पतली फिल्म में जर्मेनियम के ऑक्सीकरण के कारण थर्मोकपल बह जाते हैं। एल्युमिना सुरक्षात्मक की एक परत पीजो डिस्क ट्रांसड्यूसर को स्पटर किया जा सकता है; जर्मेनियम के ऑक्सीकरण को कम करने के लिए पीटी-13 आरएच/पीटी पतली-फिल्म थर्मोकपल विभिन्न प्रसंस्करण तकनीकों के कारण, अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान सीमा 900 डिग्री सेल्सियस ~ 1 200 डिग्री सेल्सियस है; NiCr-NiMn पतली-फिल्म थर्मोकपल का उपयोग गैस टरबाइन इंजन के कम दबाव वाले टरबाइन गाइड वेन के तापमान को मापने के लिए किया जाता है, जो अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान है। पीजो डिस्क क्रिस्टल 400°C है;

थर्मोकपल का उपयोग आम तौर पर 800 डिग्री सेल्सियस के अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान तक क्षणिक तापमान को मापने के लिए किया जाता है। टंगस्टन/थोरियम पतली-फिल्म थर्मोकपल को सामान्य संचालन के लिए उच्च तापमान पर एक सुरक्षात्मक परत की आवश्यकता होती है 2मेगाहर्ट्ज पीजो डिस्क क्रिस्टल सुरक्षात्मक परत संरक्षण के तहत 1370 K के तापमान पर काम कर सकता है; Ni Ni/Cr पतली-फिल्म थर्मोकपल का उपयोग काटने के तापमान की निगरानी के लिए किया जा सकता है और यह 890 K से नीचे काम कर सकता है। Ni/Cr और Ni-Al मिश्र धातु पतली-फिल्म थर्मोकपल विनिर्माण प्रक्रिया के तापमान की निगरानी कर सकते हैं और कमरे के तापमान पर 600 डिग्री सेल्सियस तक उपयोग किए जाते हैं; पीटी/पीडी पतली-फिल्म थर्मोकपल पीजोइलेक्ट्रिक प्लेट सेंसर का उपयोग सिलिकॉन वेफर्स के ताप उपचार तापमान की निगरानी के लिए किया जाता है और यह 850 डिग्री सेल्सियस पर 10-20 घंटे तक जीवित रह सकता है। ऑक्साइड सिरेमिक के रूप में, आईटीओ सिरेमिक सामग्री में उच्च तापमान प्रतिरोध, ऑक्सीकरण प्रतिरोध और विभिन्न इलेक्ट्रोड सामग्रियों से बनी आईटीओ सिरेमिक फिल्म की विशेषताएं हैं।