Piëzo-filmthermometer voor hoge temperaturen

De dunnefilmthermometer voor hoge temperaturen omvat een dunnefilmthermokoppel en een weerstandstemperatuurdetector (RTD). Dunnefilmthermokoppels kunnen worden gebruikt bij 1.000 °C, maar de thermokoppels drijven door de oxidatie van germanium in de dunne film. Een beschermende laag aluminiumoxide piëzo-schijftransducers kunnen worden gesputterd om de oxidatie van germanium te verminderen; Pt-13 Rh/Pt dunnefilmthermokoppels Vanwege verschillende verwerkingstechnieken bedraagt ​​het maximale bedrijfstemperatuurbereik 900 °C ~ 1.200 °C; NiCr-NiMn dunnefilmthermokoppels worden gebruikt om de temperatuur van de lagedrukturbineleischoep van de gasturbinemotor te meten, de maximale bedrijfstemperatuur van piëzoschijfkristal is 400°C;

Thermokoppels worden over het algemeen gebruikt om transiënte temperaturen te meten tot een maximale bedrijfstemperatuur van 800 °C. Wolfraam/thorium dunnefilm-thermokoppels vereisen een beschermende laag bij hoge temperaturen voor normale werking 2Mhz piëzo-schijvenkristal kan werken bij een temperatuur van 1370 K onder beschermende laagbescherming; Ni Het Ni/Cr dunnefilmthermokoppel kan worden gebruikt om de snijtemperatuur te bewaken en kan werken onder 890 K. Ni/Cr- en Ni-Al-legering dunnefilmthermokoppels kunnen de temperatuur van het productieproces bewaken en worden gebruikt bij kamertemperatuur tot 600 °C; Pt/Pd dunnefilmthermokoppels van piëzo-elektrische plaatsensoren worden gebruikt om de warmtebehandelingstemperatuur van siliciumwafels te bewaken en kunnen 10-20 uur bij 850 ° C overleven. Als oxidekeramiek heeft ITO-keramisch materiaal kenmerken van hoge temperatuurbestendigheid, oxidatieweerstand en ITO-keramische film die is samengesteld uit verschillende elektrodematerialen.