Termometru piezo-film de înaltă temperatură

Termometrul cu film subțire de temperatură înaltă include un termocuplu cu film subțire și un detector de temperatură cu rezistență (RTD). Termocuplurile cu peliculă subțire pot fi utilizate la 1 000 °C, dar termocuplurile se deplasează din cauza oxidării germaniului în pelicula subțire. Un strat protector de alumină traductorul piezo disc poate fi pulverizat pentru a reduce oxidarea germaniului; Termocupluri cu peliculă subțire Pt-13 Rh/Pt Datorită diferitelor tehnici de prelucrare, intervalul maxim de temperatură de funcționare este de 900 °C ~ 1 200 °C; Termocuplurile NiCr-NiMn cu peliculă subțire sunt utilizate pentru a măsura temperatura paletei de ghidare a turbinei de joasă presiune a motorului cu turbină cu gaz, temperatura maximă de funcționare a cristalul de disc piezo este 400°C;

Termocuplurile sunt utilizate în general pentru măsurarea temperaturilor tranzitorii până la o temperatură maximă de funcționare de 800 °C. Termocuplurile cu peliculă subțire de tungsten/toriu necesită un strat protector la temperaturi ridicate pentru funcționarea normală și 2Discurile piezo de cristal Mhz pot funcționa la o temperatură de 1370 K sub protecție stratului protector; Ni Termocuplul cu peliculă subțire Ni/Cr poate fi folosit pentru a monitoriza temperatura de tăiere și poate funcționa sub 890 K. Termocuplurile cu peliculă subțire din aliaj Ni/Cr și Ni-Al pot monitoriza temperatura procesului de fabricație și sunt utilizate la temperatura camerei până la 600 °C; Pt/ Pd termocupluri cu peliculă subțire de Senzorul cu placă piezoelectrică este utilizat pentru a monitoriza temperatura de tratament termic a plachetelor de siliciu și poate supraviețui la 850 °C timp de 10-20 ore. Ca ceramică oxidică, materialul ceramic ITO are caracteristici de rezistență la temperaturi înalte, rezistență la oxidare și film ceramic ITO compus din diferite materiale pentru electrozi.