Visokotemperaturni termometar s piezo filmom

Visokotemperaturni tankoslojni termometar uključuje tankoslojni termoelement i temperaturni detektor otpora (RTD). Termoparovi s tankim filmom mogu se koristiti na 1 000 °C, ali termoparovi se povlače zbog oksidacije germanija u tankom filmu. Zaštitni sloj aluminijevog oksida piezo disk pretvornik može biti raspršen kako bi se smanjila oksidacija germanija; Pt-13 Rh/Pt tankoslojni termoparovi Zbog različitih tehnika obrade, maksimalni raspon radne temperature je 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn tankoslojni termoparovi koriste se za mjerenje temperature vodeće lopatice niskotlačne turbine plinskoturbinskog motora, maksimalne radne temperature piezo disk kristal je 400°C;

Termoparovi se općenito koriste za mjerenje prijelaznih temperatura do maksimalne radne temperature od 800 °C. Volfram/torij tankoslojni termoparovi zahtijevaju zaštitni sloj na visokim temperaturama za normalan rad i 2Mhz piezo disk kristal može raditi na temperaturi od 1370 K pod zaštitom zaštitnog sloja; Ni Ni/Cr tankoslojni termoelement može se koristiti za nadzor temperature rezanja i može raditi ispod 890 K. Ni/Cr i Ni-Al legure tankoslojni termoparovi mogu pratiti temperaturu proizvodnog procesa i koriste se na sobnoj temperaturi do 600 °C; Pt/Pd tankoslojni termoparovi od piezoelektrični pločasti senzor koristi se za praćenje temperature toplinske obrade silicijskih pločica i može preživjeti na 850 °C 10-20 h. Kao oksidna keramika, ITO keramički materijal ima karakteristike otpornosti na visoke temperature, otpornost na oksidaciju i ITO keramički film sastavljen od različitih materijala elektroda.