Høj temperatur piezo film termometer

Højtemperatur tyndfilmtermometeret inkluderer et tyndfilmstermoelement og en modstandstemperaturdetektor (RTD). Tyndfilmstermoelementer kan bruges ved 1 000 °C, men termoelementerne driver på grund af oxidationen af ​​germanium i den tynde film. Et lag af aluminiumoxid beskyttende piezo disc transducer kan sputteres for at reducere oxidationen af ​​germanium; Pt-13 Rh/Pt tyndfilm termoelementer På grund af forskellige behandlingsteknikker er det maksimale driftstemperaturområde 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn tyndfilm termoelementer bruges til at måle temperaturen på gasturbinemotorens lavtryksturbine ledevinge, den maksimale driftstemperatur på piezoskivekrystal er 400°C;

Termoelementer bruges generelt til at måle transiente temperaturer op til en maksimal driftstemperatur på 800 °C. Tungsten/thorium tyndfilm termoelementer kræver et beskyttende lag ved høje temperaturer for normal drift og 2Mhz piezo-diske krystal kan fungere ved en temperatur på 1370 K under beskyttelseslag; Ni Ni/Cr tyndfilm termoelementet kan bruges til at overvåge skæretemperaturen og kan arbejde under 890 K. Ni/Cr og Ni-Al legering tyndfilm termoelementer kan overvåge temperaturen i fremstillingsprocessen og bruges ved stuetemperatur til 600 °C; Pt/ Pd tyndfilm termoelementer af piezoelektriske pladesensorer bruges til at overvåge varmebehandlingstemperaturen af ​​siliciumwafers og kan overleve ved 850 °C i 10-20 timer. Som en oxidkeramik har ITO-keramisk materiale karakteristika af højtemperaturbestandighed, oxidationsmodstand og ITO-keramisk film sammensat af forskellige elektrodematerialer.