Плёнкавы тэрмометр з высокай тэмпературай

Высокотэмпературны тонкаплёнкавы тэрмометр уключае тонкаплёнкавую тэрмапару і дэтэктар тэмпературы супраціву (RTD). Танкаплёнкавыя тэрмапары можна выкарыстоўваць пры тэмпературы 1000 °C, але тэрмапары дрэйфуюць з-за акіслення германію ў тонкай плёнцы. Ахоўны пласт аксіду алюмінія п'езадыскавы пераўтваральнік можа быць напылены для памяншэння акіслення германію; Тонкаплёнкавыя тэрмапары Pt-13 Rh/Pt Дзякуючы розным метадам апрацоўкі максімальны дыяпазон працоўных тэмператур складае 900 °C ~ 1200 °C; Тонкаплёнкавыя тэрмапары NiCr-NiMn выкарыстоўваюцца для вымярэння тэмпературы накіроўвалай лопасці турбіны нізкага ціску газатурбіннага рухавіка, максімальнай працоўнай тэмпературы крышталь пьезодиска 400°C;

Тэрмапары звычайна выкарыстоўваюцца для вымярэння пераходных тэмператур да максімальнай працоўнай тэмпературы 800 °C. Вальфрам/торыевыя тонкаплёнкавыя тэрмапары патрабуюць ахоўнага пласта пры высокіх тэмпературах для нармальнай працы і 2Крышталь п'езадыскаў МГц можа працаваць пры тэмпературы 1370 К пад абаронай ахоўнага пласта; Ni Тонкаплёнкавая тэрмапара Ni/Cr можа выкарыстоўвацца для кантролю тэмпературы рэзкі і можа працаваць пры тэмпературы ніжэй за 890 К. Танкаплёнкавыя тэрмапары са сплаву Ni/Cr і Ni-Al могуць кантраляваць тэмпературу вытворчага працэсу і выкарыстоўваюцца пры пакаёвай тэмпературы да 600 °C; Pt/Pd тонкаплёнкавыя тэрмапары п'езаэлектрычны пласціністы датчык выкарыстоўваецца для кантролю тэмпературы тэрмічнай апрацоўкі крэмніевых пласцін і можа выжыць пры тэмпературы 850 °C на працягу 10-20 гадзін. У якасці аксіднай керамікі керамічны матэрыял ITO мае характарыстыкі ўстойлівасці да высокіх тэмператур, устойлівасці да акіслення і керамічнай плёнкі ITO, якая складаецца з розных электродных матэрыялаў.