Language
Visningar: 14 Författare: Webbplatsredaktör Publiceringstid: 2018-06-26 Ursprung: Plats
Högtemperaturtunnfilmstermometern inkluderar ett tunnfilmstermoelement och en resistanstemperaturdetektor (RTD). Tunnfilmstermoelement kan användas vid 1 000 °C, men termoelementen driver på grund av oxidationen av germanium i den tunna filmen. Ett skyddande lager av aluminiumoxid piezoskivgivare kan sputteras för att minska oxidationen av germanium; Pt-13 Rh/Pt tunnfilmstermoelement På grund av olika bearbetningstekniker är det maximala driftstemperaturområdet 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn tunnfilmstermoelement används för att mäta temperaturen på gasturbinmotorns lågtrycksturbinstyrskena, den maximala driftstemperaturen på piezoskivkristall är 400°C;
Termoelement används vanligtvis för att mäta transienta temperaturer upp till en maximal driftstemperatur på 800 °C. Tungsten/torium tunnfilmstermoelement kräver ett skyddande lager vid höga temperaturer för normal drift och 2Mhz piezoskivor kristall kan arbeta vid en temperatur på 1370 K under skyddande skikt; Ni Ni/Cr tunnfilmstermoelementet kan användas för att övervaka skärtemperaturen och kan arbeta under 890 K. Ni/Cr och Ni-Al legering tunnfilmstermoelement kan övervaka temperaturen i tillverkningsprocessen och används vid rumstemperatur till 600 °C; Pt/ Pd tunnfilmstermoelement av piezoelektriska plattsensorer används för att övervaka värmebehandlingstemperaturen för kiselskivor och kan överleva vid 850 °C i 10-20 timmar. Som en oxidkeramik har ITO-keramiskt material egenskaper som högtemperaturbeständighet, oxidationsbeständighet och ITO-keramisk film som består av olika elektrodmaterial.
