Korkean lämpötilan pietsokalvolämpömittari

Korkean lämpötilan ohutkalvolämpömittari sisältää ohutkalvotermoparin ja vastuslämpötilan ilmaisimen (RTD). Ohutkalvotermopareja voidaan käyttää 1 000 °C:ssa, mutta termoparit ajautuvat ohuessa kalvossa olevan germaniumin hapettumisen vuoksi. Suojakerros alumiinioksidia pietsolevymuunnin voidaan sputteroida germaniumin hapettumisen vähentämiseksi; Pt-13 Rh/Pt ohutkalvotermoparit Erilaisista käsittelytekniikoista johtuen suurin käyttölämpötila-alue on 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn ohutkalvotermopareja käytetään mittaamaan kaasuturbiinimoottorin matalapaineisen turbiinin ohjaussiiven lämpötilaa, maksimi käyttölämpötila pietsolevykide on 400 °C;

Termopareja käytetään yleensä mittaamaan transienttilämpötiloja 800 °C:n maksimikäyttölämpötilaan asti. Volframi/torium-ohutkalvotermoparit vaativat suojakerroksen korkeissa lämpötiloissa normaalia toimintaa varten ja 2Mhz pietsokiskit kristalli voivat toimia lämpötilassa 1370 K suojakerroksen suojassa; Ni Ni/Cr-ohutkalvotermoparia voidaan käyttää leikkauslämpötilan valvontaan, ja se voi toimia alle 890 K:n lämpötilassa. Ni/Cr- ja Ni-Al-seoksesta valmistetut ohutkalvotermoparit voivat valvoa valmistusprosessin lämpötilaa, ja niitä käytetään huoneenlämpötilassa 600 °C:seen asti; Pt/Pd ohutkalvotermoparit Pietsosähköistä levyanturia käytetään piikiekkojen lämpökäsittelylämpötilan seuraamiseen ja ne kestävät 850 °C:ssa 10-20 tuntia. Oksidikeraamina ITO-keraamimateriaalilla on korkean lämpötilan kestävyys, hapettumisenkestävyys ja ITO-keraaminen kalvo, joka koostuu erilaisista elektrodimateriaaleista.