Hoë temperatuur piëzo film termometer

Die hoë temperatuur dun film termometer sluit 'n dun film termokoppel en 'n weerstand temperatuur detektor (RTD). Dunfilm-termokoppels kan teen 1 000 °C gebruik word, maar die termokoppels dryf as gevolg van die oksidasie van germanium in die dun film. 'n Beskermende laag alumina piezo skyf transducer kan gesputter word om die oksidasie van germanium te verminder; Pt-13 Rh/Pt dunfilm termokoppels As gevolg van verskillende verwerkingstegnieke is die maksimum bedryfstemperatuurreeks 900 °C ~ 1 200 °C; NiCr-NiMn dun-film termokoppels word gebruik om die temperatuur van die gasturbine-enjin se laedruk turbine-geleidingswaaier te meet, die maksimum bedryfstemperatuur van piëzoskyfkristal is 400°C;

Termokoppels word oor die algemeen gebruik om verbygaande temperature tot 'n maksimum bedryfstemperatuur van 800 °C te meet. Tungsten/torium dun-film termokoppels benodig 'n beskermende laag by hoë temperature vir normale werking en 2Mhz piëzo-skyfies kristal kan werk by 'n temperatuur van 1370 K onder beskermende laag beskerming; Ni Die Ni/Cr dunfilm termokoppel kan gebruik word om die snytemperatuur te monitor en kan onder 890 K werk. Ni/Cr en Ni-Al legering dunfilm termokoppels kan die temperatuur van die vervaardigingsproses monitor en word by kamertemperatuur tot 600 °C gebruik; Pt/ Pd dunfilm termokoppels van piëzo-elektriese plaatsensor word gebruik om die hittebehandelingstemperatuur van silikonwafels te monitor en kan vir 10-20 uur by 850 °C oorleef. As 'n oksiedkeramiek het ITO-keramiekmateriaal eienskappe van hoë temperatuurweerstand, oksidasieweerstand en ITO-keramiekfilm wat uit verskillende elektrodemateriale bestaan.