دماسنج فیلم پیزو با دمای بالا

دماسنج لایه نازک دمای بالا شامل یک ترموکوپل لایه نازک و یک آشکارساز دمای مقاومتی (RTD) می باشد. ترموکوپل های لایه نازک را می توان در دمای 1000 درجه سانتی گراد استفاده کرد، اما ترموکوپل ها به دلیل اکسیداسیون ژرمانیوم در لایه نازک جابجا می شوند. یک لایه محافظ آلومینا مبدل دیسک پیزو را می توان برای کاهش اکسیداسیون ژرمانیوم پراکنده کرد. ترموکوپل های لایه نازک Pt-13 Rh/Pt به دلیل تکنیک های مختلف پردازش، حداکثر محدوده دمای عملیاتی 900 درجه سانتی گراد تا 1200 درجه سانتی گراد است. ترموکوپل های لایه نازک NiCr-NiMn برای اندازه گیری دمای پره راهنمای توربین فشار پایین موتور توربین گاز، حداکثر دمای کارکرد کریستال دیسک پیزو 400 درجه سانتیگراد است.

ترموکوپل ها معمولاً برای اندازه گیری دمای گذرا تا حداکثر دمای عملیاتی 800 درجه سانتیگراد استفاده می شوند. ترموکوپل های لایه نازک تنگستن/توریم برای عملکرد عادی به یک لایه محافظ در دماهای بالا نیاز دارند. 2کریستال دیسک های پیزو مگاهرتز می تواند در دمای 1370 کلوین تحت حفاظت لایه محافظ کار کند. Ni ترموکوپل لایه نازک Ni/Cr می تواند برای نظارت بر دمای برش استفاده شود و می تواند زیر 890 K کار کند. ترموکوپل های لایه نازک Pt/Pd از سنسور صفحه پیزوالکتریک برای نظارت بر دمای عملیات حرارتی ویفرهای سیلیکونی استفاده می شود و می تواند در دمای 850 درجه سانتی گراد به مدت 10-20 ساعت زنده بماند. به عنوان یک سرامیک اکسید، مواد سرامیکی ITO دارای ویژگی های مقاومت در برابر دمای بالا، مقاومت در برابر اکسیداسیون و فیلم سرامیکی ITO متشکل از مواد مختلف الکترود است.