Wysokotemperaturowy termometr piezoelektryczny

Wysokotemperaturowy termometr cienkowarstwowy składa się z termopary cienkowarstwowej i rezystancyjnego czujnika temperatury (RTD). Termopary cienkowarstwowe można stosować w temperaturze 1000 °C, ale termopary dryfują z powodu utleniania germanu w cienkiej warstwie. Warstwa ochronna z tlenku glinu przetwornik piezoelektryczny może być napylany w celu ograniczenia utleniania germanu; Termopary cienkowarstwowe Pt-13 Rh/Pt Ze względu na różne techniki przetwarzania, maksymalny zakres temperatur pracy wynosi 900°C ~ 1 200°C; Termopary cienkowarstwowe NiCr-NiMn służą do pomiaru temperatury łopatki kierującej turbiny niskociśnieniowej silnika turbogazowego, maksymalnej temperatury roboczej kryształ piezoelektryczny ma temperaturę 400°C;

Termopary są powszechnie stosowane do pomiaru temperatur przejściowych aż do maksymalnej temperatury roboczej wynoszącej 800°C. Termopary cienkowarstwowe wolframowo-torowe wymagają w wysokich temperaturach warstwy ochronnej do normalnej pracy 2Kryształowe dyski piezoelektryczne MHz mogą pracować w temperaturze 1370 K pod ochroną warstwy ochronnej; Ni Cienkowarstwowa termopara Ni/Cr może być używana do monitorowania temperatury cięcia i może pracować w temperaturze poniżej 890 K. Cienkowarstwowe termopary ze stopu Ni/Cr i Ni-Al mogą monitorować temperaturę procesu produkcyjnego i są stosowane w temperaturze pokojowej do 600 °C; Termopary cienkowarstwowe Pt/Pd Piezoelektryczny czujnik płytowy służy do monitorowania temperatury obróbki cieplnej płytek krzemowych i może przetrwać w temperaturze 850 ° C przez 10–20 godzin. Jako ceramika tlenkowa, materiał ceramiczny ITO charakteryzuje się odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na utlenianie i warstwą ceramiczną ITO złożoną z różnych materiałów elektrodowych.