Vysokoteplotní piezofilmový teploměr

Vysokoteplotní tenkovrstvý teploměr obsahuje tenkovrstvý termočlánek a odporový teplotní detektor (RTD). Tenkovrstvé termočlánky lze použít při 1 000 °C, ale termočlánky se pohybují v důsledku oxidace germania v tenké vrstvě. Ochranná vrstva oxidu hlinitého piezo diskový měnič lze naprášit, aby se snížila oxidace germania; Tenkovrstvé termočlánky Pt-13 Rh/Pt Vzhledem k různým technikám zpracování je maximální rozsah provozních teplot 900 °C ~ 1 200 °C; Tenkovrstvé termočlánky NiCr-NiMn se používají k měření teploty vodicí lopatky nízkotlaké turbíny motoru s plynovou turbínou, maximální provozní teplota piezo disk krystal má 400 °C;

Termočlánky se obecně používají k měření přechodových teplot do maximální provozní teploty 800 °C. Tenkovrstvé termočlánky wolfram/thorium vyžadují pro normální provoz ochrannou vrstvu při vysokých teplotách 2Krystal piezo disků Mhz může pracovat při teplotě 1370 K pod ochranou ochrannou vrstvou; Ni Tenkovrstvý termočlánek Ni/Cr lze použít ke sledování teploty řezání a může pracovat pod 890 K. Tenkovrstvé termočlánky ze slitiny Ni/Cr a Ni-Al mohou monitorovat teplotu výrobního procesu a používají se při pokojové teplotě do 600 °C; Pt/Pd tenkovrstvé termočlánky z piezoelektrický deskový senzor se používá ke sledování teploty tepelného zpracování křemíkových plátků a může přežít při 850 °C po dobu 10-20 hodin. Jako oxidová keramika má keramický materiál ITO vlastnosti vysoké teplotní odolnosti, odolnosti proti oxidaci a keramický film ITO složený z různých materiálů elektrod.