ارتفاع درجة الحرارة فيلم بيزو ميزان الحرارة

يشتمل مقياس الحرارة ذو الأغشية الرقيقة ذو درجة الحرارة العالية على مزدوج حراري للأغشية الرقيقة وكاشف درجة حرارة المقاومة (RTD). يمكن استخدام المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة عند درجة حرارة 1000 درجة مئوية، لكن المزدوجات الحرارية تنجرف بسبب أكسدة الجرمانيوم في الطبقة الرقيقة. طبقة حماية من الألومينا يمكن رش محول القرص الانضغاطي لتقليل أكسدة الجرمانيوم؛ المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة Pt-13 Rh/Pt نظرًا لتقنيات المعالجة المختلفة، فإن الحد الأقصى لنطاق درجة حرارة التشغيل هو 900 درجة مئوية ~ 1200 درجة مئوية؛ تُستخدم المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة NiCr-NiMn لقياس درجة حرارة ريشة التوجيه التوربينية ذات الضغط المنخفض لمحرك التوربينات الغازية، وهي درجة حرارة التشغيل القصوى كريستال قرص بيزو هو 400 درجة مئوية؛

تُستخدم المزدوجات الحرارية عمومًا لقياس درجات الحرارة العابرة حتى درجة حرارة التشغيل القصوى البالغة 800 درجة مئوية. تتطلب المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة من التنغستن/الثوريوم طبقة واقية عند درجات حرارة عالية للتشغيل العادي 2يمكن لأقراص بيزو كريستالية تعمل بتقنية Mhz أن تعمل عند درجة حرارة 1370 كلفن تحت طبقة حماية واقية؛ Ni يمكن استخدام المزدوجة الحرارية ذات الأغشية الرقيقة Ni/Cr لمراقبة درجة حرارة القطع ويمكن أن تعمل تحت 890 K. يمكن للمزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة المصنوعة من سبائك Ni/Cr وNi-Al مراقبة درجة حرارة عملية التصنيع وتستخدم في درجة حرارة الغرفة إلى 600 درجة مئوية؛ Pt/Pd المزدوجات الحرارية ذات الأغشية الرقيقة يتم استخدام مستشعر اللوحة الكهرضغطية لمراقبة درجة حرارة المعالجة الحرارية لرقائق السيليكون ويمكنه البقاء عند درجة حرارة 850 درجة مئوية لمدة 10-20 ساعة. باعتبارها سيراميك أكسيد، فإن مادة سيراميك ITO تتميز بخصائص مقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة الأكسدة، وطبقة سيراميك ITO مكونة من مواد قطب كهربائي مختلفة.