उच्च तापमान पतली फिल्म थर्मामीटर में एक पतली फिल्म थर्मोकपल और एक प्रतिरोध तापमान डिटेक्टर (आरटीडी) शामिल है। पतली-फिल्म थर्मोकपल का उपयोग 1 000 डिग्री सेल्सियस पर किया जा सकता है, लेकिन पतली फिल्म में जर्मेनियम के ऑक्सीकरण के कारण थर्मोकपल बह जाते हैं। एल्युमिना प्रोटेक्टी की एक परत