Høytemperatur-tynnfilmtermometeret inkluderer et tynnfilmstermoelement og en motstandstemperaturdetektor (RTD). Tynnfilmstermoelementer kan brukes ved 1 000 °C, men termoelementene driver på grunn av oksidasjon av germanium i den tynne filmen. Et lag med aluminiumoksydbeskyttelse