Tynnfilm termoelement laget av piezo keramisk materiale

Termoelementer av piezoelektrisk materiale piezos skiver transduser tåler de store forskjellene i temperatur og varmeeffekt. Et tynnfilm termoelement består av to ITO piezokeramikk ved hjelp av varme elektroder (med forskjellige ladningsbærerkonsentrasjoner) som kan fungere under 1 200 °C; In2O3/ITO tynnfilm termoelementer er produsert på et nikkelbasert legeringssubstrat som kan brukes ved en temperatur på 1 000°C. det fungerer under forhold; termoelementer består av In2O3:SnO2 (massefraksjon 95%:5%) og In2O3 .som har stor termoelektrisk effekt, god stabilitet og repeterbarhet fra romtemperatur til 1300°C. Og holdbarhet, overlevelsestid av piezoelektrisk effektsensor ; overstiger 50 timer termoelektrisk effekt av ITO/Pt tynnfilm termoelementer er stabil fra romtemperatur til 1 200°C; etter nitrogendoping i ITO, vil høytemperaturstabilitet bli forbedret, nitrogen doppes ITO Termoelementer laget av platina og platina tåler temperaturer opp til 1 000 °C, piezo-transduser har større termoelektrisk effekt enn S-type termoelementer, og har bedre stabilitet i romtemperatur til 1 000Cr nanaY/NiColumina/NiColumina .Termoelementer laget av nitrogen-dopet ITO har stor varmeeffekt og kan operere under 1 200 °C.

Tynnfilmstermoelementer er laget av andre piezokeramiske materialer som tåler de begrensede maksimale driftstemperaturene. De termoelektriske utgangsdataene til CrSi2/Pt tynnfilmtermoelementer fra romtemperatur til 650 °C er lineære, mens de termiske utgangsdataene til TaC/Pt tynnfilmtermoelementer fra romtemperatur til 450 °C er lineære. Tynnfilmstermoelementer er laget av SiC (CMC) og platina har en stor seebeck-koeffisient, som er to størrelsesordener høyere enn for det lineære termoelementet av K-type, men når temperaturen er høyere enn 1 000 °C, dannes silicider i grensesnittet mellom Pt og SiC. Kan kun brukes under 1 000 °C; TiC/TaC tynnfilm termoelementer av piezos discs-transduseren kan brukes ved vakuumtemperaturer på 1 350 K. Motstandstemperaturen til tynnfilmdetektoren er hovedsakelig sammensatt av et metall eller piezokeramisk materiale og har en relativt enkel struktur. Platina tynnfilm RTD-er opererer vanligvis med temperaturer fra 20 °C til 700 °C. Gull tynnfilm RTDer av piezoelektrisk platesensors kan måle temperaturer fra 20 °C til 450 °C. RTDer er laget av ITO kan brukes under 900 °C, piezokeramiske materialer av tynnfilm RTDer er laget av SiAlCN, det kan fungere stabilt i lang tid under 1 400 °C.