Termocuplu cu peliculă subțire din material piezoceramic

Termocupluri de Traductorul cu discuri piezoelectrice din material piezoelectric poate rezista la diferențe mari de temperatură și căldură. Un termocuplu cu peliculă subțire este format din două ITO piezo ceramică prin electrozi fierbinți (cu diferite concentrații de purtători de sarcină) .care pot funcționa sub 1 200 °C; Termocuplurile cu peliculă subțire In2O3/ITO sunt fabricate pe un substrat de aliaj pe bază de nichel care pot fi utilizate la o temperatură de 1 000°C. se lucrează în condiții; termocuplurile sunt formate din In2O3:SnO2 (fracție de masă 95%:5%) și In2O3. care au o putere termoelectrică mare, stabilitate bună și repetabilitate de la temperatura camerei până la 1 300°C. Și durabilitate, timp de supraviețuire de de efect piezoelectric senzorul depășește 50 h; ieșirea termoelectrică a termocuplurilor cu peliculă subțire ITO/Pt este stabilă de la temperatura camerei până la 1 200°C; după doparea cu azot în ITO, stabilitatea la temperatură ridicată va fi îmbunătățită, azotul este dopat ITO Termocuplurile din platină și platină pot rezista la temperaturi de până la 1 000 °C, traductorul piezo are o putere termoelectrică mai mare decât termocuplurile de tip S și au o stabilitate mai bună la temperatura camerei până la 1 000 °C de către NiColumina. ITO dopat cu azot au o putere termică mare și poate funcționa sub 1 200 °C.

Termocuplurile cu peliculă subțire sunt realizate din alte materiale piezoceramice care pot rezista la temperaturile maxime limitate de funcționare. Datele de ieșire termoelectrică ale termocuplurilor cu film subțire CrSi2/Pt de la temperatura camerei până la 650 °C sunt liniare, în timp ce datele de ieșire termică ale termocuplurilor cu peliculă subțire TaC/Pt de la temperatura camerei până la 450 °C sunt liniare. Termocuplurile cu peliculă subțire sunt fabricate din SiC (CMC), iar platina au un coeficient Seebeck mare, care este de două ordine de mărime, este mai mare decât cel al termocuplului liniar de tip K, dar când temperatura este mai mare de 1 000 ° C, siliciurile se formează la interfața dintre Pt și SiC. Poate fi folosit numai sub 1 000 °C; Termocupluri cu peliculă subțire TiC/TaC de Traductorul cu discuri piezozoare poate fi utilizat la temperaturi de vid de 1 350 K. Temperatura de rezistență a detectorului cu peliculă subțire este compusă în principal dintr-un material metalic sau piezoceramic și are o structură relativ simplă. RTD-urile cu peliculă subțire de platină funcționează de obicei la temperaturi cuprinse între 20 °C și 700 °C. RTD-uri cu peliculă subțire de aur de senzor de placă piezoelectricăs poate măsura temperaturi de la 20 °C la 450 °C. RTD-urile sunt fabricate din ITO pot fi utilizate sub 900 °C, materialele piezo-ceramice ale RTD-urilor cu film subțire sunt fabricate din SiAlCN, pot funcționa stabil pentru o perioadă lungă de timp sub 1 400 °C.