Termokopel film tipis terbuat dari bahan keramik piezo

Termokopel dari bahan piezoelektrik transduser cakram piezos dapat menahan perbedaan besar dalam suhu dan keluaran panas. Termokopel film tipis terdiri dari dua ITO keramik piezo dengan elektroda panas (dengan konsentrasi pembawa muatan berbeda). Yang dapat beroperasi di bawah 1 200 °C; Termokopel film tipis In2O3/ITO dibuat pada substrat paduan berbasis nikel dan dapat digunakan pada suhu 1.000°C. itu bekerja dalam kondisi; termokopel terdiri dari In2O3:SnO2 (fraksi massa 95%:5%) dan In2O3. Yang memiliki keluaran termoelektrik besar, stabilitas dan pengulangan yang baik dari suhu kamar hingga 1 300°C. Dan daya tahan, waktu bertahan hidup efek piezoelektrik senso r melebihi 50 jam; keluaran termoelektrik termokopel film tipis ITO/Pt stabil dari suhu kamar hingga 1.200°C; setelah doping nitrogen di ITO, stabilitas suhu tinggi akan ditingkatkan, nitrogen didoping ITO Termokopel yang terbuat dari platina dan platina dapat menahan suhu hingga 1.000 °C, transduser piezo memiliki keluaran termoelektrik yang lebih besar daripada termokopel tipe S, dan memiliki stabilitas yang lebih baik pada suhu ruangan hingga 1.000 °C oleh nanokomposit NiCoCrAlY/alumina. Termokopel yang terbuat dari ITO yang didoping nitrogen memiliki keluaran panas yang besar dan dapat beroperasi di bawah 1 200 °C.

Termokopel film tipis yang terbuat dari bahan keramik piezo lainnya dapat menahan suhu pengoperasian maksimum yang terbatas. Data keluaran termoelektrik termokopel film tipis CrSi2/Pt dari suhu kamar hingga 650 °C adalah linier, sedangkan data keluaran termal termokopel film tipis TaC/Pt dari suhu kamar hingga 450 °C adalah linier. Termokopel film tipis yang terbuat dari SiC (CMC) dan platinum memiliki koefisien seebeck yang besar, yaitu dua kali lipat lebih tinggi dibandingkan termokopel linier tipe K, tetapi ketika suhu lebih tinggi dari 1.000 °C, silisida terbentuk pada antarmuka antara Pt dan SiC. Hanya dapat digunakan pada suhu di bawah 1.000 °C; Termokopel film tipis TiC/TaC dari Transduser cakram piezos dapat digunakan pada suhu vakum 1.350 K. Suhu resistansi detektor film tipis terutama terdiri dari bahan logam atau keramik piezo dan memiliki struktur yang relatif sederhana. RTD film tipis platinum biasanya beroperasi pada suhu berkisar antara 20 °C hingga 700 °C. RTD film tipis emas sensor pelat piezoelektriks Dapat mengukur suhu dari 20 °C hingga 450 °C. RTD berbahan ITO dapat digunakan di bawah 900 °C, bahan keramik piezo RTD film tipis terbuat dari SiAlCN, dapat beroperasi secara stabil untuk jangka waktu lama di bawah 1 400 °C.