Тонкоплівкова термопара з п'єзокерамічного матеріалу

Термопари з п'єзоелектричний матеріал п'єзодисковий перетворювач може витримувати великі перепади температури та теплової потужності. Тонкоплівкова термопара складається з двох ITO п'єзокераміка за допомогою гарячих електродів (з різними концентраціями носіїв заряду), які можуть працювати при температурах нижче 1200 °C; Тонкоплівкові термопари In2O3/ITO, виготовлені на підкладці зі сплаву на основі нікелю, можуть використовуватися при температурі 1000 °C. працює в умовах; Термопари складаються з In2O3:SnO2 (масова частка 95%:5%) та In2O3, які мають великий термоелектричний вихід, добру стабільність і повторюваність від кімнатної температури до 1300°C. І довговічність, час виживання п'єзоелектричний ефект датчика r перевищує 50 год; термоелектричний вихід тонкоплівкових термопар ITO/Pt стабільний від кімнатної температури до 1200°C; після допування азотом в ITO стабільність при високій температурі буде покращена, допування азотом Термопари ITO, виготовлені з платини та платини, можуть витримувати температури до 1000 °C, п’єзоперетворювач має більший термоелектричний вихід, ніж термопари S-типу, і має кращу стабільність при кімнатній температурі до 1000 °C завдяки NiCoCrAlY/оксиду алюмінію нанокомпозити. Термопари, виготовлені з легованого азотом ITO, мають велику тепловіддачу та можуть працювати при температурах нижче 1200 °C.

Тонкоплівкові термопари, виготовлені з інших п'єзокерамічних матеріалів, можуть витримувати обмежені максимальні робочі температури. Дані термоелектричної потужності тонкоплівкових термопар CrSi2/Pt від кімнатної температури до 650 °C є лінійними, тоді як дані теплової потужності тонкоплівкових термопар TaC/Pt від кімнатної температури до 450 °C є лінійними. Тонкоплівкові термопари виготовлені з SiC (CMC) і платини мають великий коефіцієнт Зеєбека, який на два порядки вище, ніж у лінійної термопари K-типу, але коли температура перевищує 1000 °C, силіциди утворюються на межі розділу між Pt і SiC. Можна використовувати лише при температурі нижче 1000 °C; Тонкоплівкові термопари TiC/TaC Перетворювач із п’єзодисками можна використовувати при температурах вакууму 1350 К. Температурний опір тонкоплівкового детектора в основному складається з металу або п’єзокерамічного матеріалу та має відносно просту структуру. Платинові тонкоплівкові RTD зазвичай працюють при температурах від 20 °C до 700 °C. Золоті тонкоплівкові RTD п'єзоелектричний пластинчастий датчикs може вимірювати температуру від 20 °C до 450 °C. RTD, виготовлені з ITO, можуть використовуватися при температурах нижче 900 °C, п'єзокерамічні матеріали для тонкоплівкових RTD виготовлені з SiAlCN, вони можуть працювати стабільно протягом тривалого періоду часу нижче 1400 °C.