Dunnefilmthermokoppel gemaakt van piëzo-keramisch materiaal

Thermokoppels van piëzo-elektrisch materiaal piezo-schijven transducer is bestand tegen de grote verschillen in temperatuur en warmteafgifte. Een dunnefilmthermokoppel bestaat uit twee ITO piëzo-keramiek door hete elektroden (met verschillende ladingsdragerconcentraties) die onder 1 200 °C kunnen werken; In2O3/ITO dunnefilmthermokoppels zijn vervaardigd op een legeringssubstraat op nikkelbasis en kunnen worden gebruikt bij een temperatuur van 1.000 °C. het werkt onder omstandigheden; thermokoppels bestaan ​​uit In2O3:SnO2 (massafractie 95%:5%) en In2O3, die een groot thermo-elektrisch vermogen, goede stabiliteit en herhaalbaarheid hebben van kamertemperatuur tot 1.300°C. En duurzaamheid, overlevingstijd van piëzo-elektrische effectsensor r overschrijdt 50 uur; de thermo-elektrische output van ITO/Pt-thermokoppels met dunne film is stabiel bij kamertemperatuur tot 1200 °C; na dotering met stikstof in de ITO zal de stabiliteit bij hoge temperaturen worden verbeterd, wordt stikstof gedoteerd. ITO-thermokoppels gemaakt van platina en platina zijn bestand tegen temperaturen tot 1.000 °C, piëzo-transducers hebben een groter thermo-elektrisch vermogen dan thermokoppels van het S-type en hebben een betere stabiliteit bij kamertemperatuur tot 1.000 °C door NiCoCrAlY/aluminiumoxide nanocomposieten. Thermokoppels gemaakt van met stikstof gedoteerde ITO hebben een grote warmteafgifte en kan werken onder 1 200 °C.

Dunnefilmthermokoppels zijn gemaakt van andere piëzo-keramische materialen en zijn bestand tegen de beperkte maximale bedrijfstemperaturen. De thermo-elektrische uitgangsgegevens van CrSi2/Pt dunnefilmthermokoppels van kamertemperatuur tot 650 °C zijn lineair, terwijl de thermische uitgangsgegevens van TaC/Pt dunnefilmthermokoppels van kamertemperatuur tot 450 °C lineair zijn. Dunnefilmthermokoppels zijn gemaakt van SiC (CMC) en platina hebben een grote Seebeck-coëfficiënt, die twee ordes van grootte hoger is dan die van het K-type lineaire thermokoppel, maar wanneer de temperatuur hoger is dan 1.000 °C, worden siliciden gevormd op het grensvlak tussen Pt en SiC. Kan alleen gebruikt worden onder 1 000 °C; TiC/TaC dunnefilmthermokoppels van Piezos-schijventransducers kunnen worden gebruikt bij vacuümtemperaturen van 1.350 K. De weerstandstemperatuur van dunne-filmdetectoren bestaat voornamelijk uit metaal of piëzo-keramisch materiaal en heeft een relatief eenvoudige structuur. Platina dunnefilm-RTD's werken doorgaans bij temperaturen van 20 °C tot 700 °C. Gouden dunne-film RTD's van piëzo-elektrische plaatsensors kan temperaturen meten van 20 °C tot 450 °C. RTD's zijn gemaakt van ITO en kunnen onder 900 °C worden gebruikt, piëzo-keramische materialen van dunne-film RTD's zijn gemaakt van SiAlCN en kunnen langdurig onder 1.400 °C stabiel werken.