ترموکوپل لایه نازک ساخته شده از مواد پیزو سرامیک

ترموکوپل های مبدل دیسک های پیزوالکتریک مواد پیزوالکتریک می تواند تفاوت های زیادی در دما و خروجی گرما را تحمل کند. یک ترموکوپل لایه نازک از دو ITO تشکیل شده است سرامیک پیزو توسط الکترودهای داغ (با غلظت های حامل بار متفاوت) که می توانند در دمای زیر 1200 درجه سانتیگراد کار کنند. ترموکوپل های لایه نازک In2O3/ITO بر روی یک بستر آلیاژ پایه نیکل ساخته می شوند که می توان در دمای 1000 درجه سانتی گراد از آن استفاده کرد. تحت شرایط کار می کند. ترموکوپل ها از In2O3:SnO2 (کسر جرمی 95%:5%) و In2O3 تشکیل شده اند که دارای خروجی ترموالکتریک بزرگ، پایداری خوب و تکرارپذیری از دمای اتاق تا 1300 درجه سانتیگراد هستند. و دوام، زمان بقای اثر پیزوالکتریک Senso r بیش از 50 ساعت است. خروجی ترموالکتریک ترموکوپل های لایه نازک ITO/Pt از دمای اتاق تا 1200 درجه سانتی گراد پایدار است. پس از دوپینگ نیتروژن در ITO، پایداری دمای بالا بهبود می‌یابد، نیتروژن دوپ می‌شود ترموکوپل‌های ساخته شده از پلاتین و پلاتین می‌توانند تا دمای 1000 درجه سانتی‌گراد را تحمل کنند، مبدل پیزو خروجی ترموالکتریکی بیشتری نسبت به ترموکوپل‌های نوع S دارد و دارای پایداری بهتری در دمای 10 درجه سانتی‌گراد در اتاق است. نانوکامپوزیت‌های NiCoCrAlY/آلومینا. ترموکوپل‌های ساخته شده از ITO آغشته به نیتروژن، خروجی حرارت زیادی دارند و می‌توانند در دمای زیر 1200 درجه سانتی‌گراد کار کنند.

ترموکوپل های لایه نازک از سایر مواد سرامیکی پیزو ساخته شده اند که می توانند حداکثر دمای عملیاتی محدود را تحمل کنند. داده های خروجی ترموالکتریک ترموکوپل های لایه نازک CrSi2/Pt از دمای اتاق تا 650 درجه سانتی گراد خطی هستند، در حالی که داده های خروجی حرارتی ترموکوپل های فیلم نازک TaC/Pt از دمای اتاق تا 450 درجه سانتی گراد خطی هستند. ترموکوپل های لایه نازک از SiC (CMC) ساخته شده اند و پلاتین دارای ضریب زیبک بزرگی است که دو مرتبه بزرگتر از ترموکوپل خطی نوع K است، اما زمانی که دما بالاتر از 1000 درجه سانتی گراد باشد، سیلیسیدها در سطح مشترک بین Pt و SiC تشکیل می شوند. فقط در دمای زیر 1000 درجه سانتیگراد قابل استفاده است. ترموکوپل لایه نازک TiC/TaC از مبدل دیسک های پیزو را می توان در دمای خلاء 1350 کلوین استفاده کرد. دمای مقاومت آشکارساز فیلم نازک عمدتاً از یک ماده فلزی یا سرامیک پیزو تشکیل شده است و ساختار نسبتاً ساده ای دارد. RTD های لایه نازک پلاتینیوم معمولاً دماهای بین 20 تا 700 درجه سانتیگراد را اعمال می کنند. RTD های لایه نازک طلایی سنسور صفحه پیزوالکتریکs می تواند دما را از 20 درجه سانتی گراد تا 450 درجه سانتی گراد اندازه گیری کند. RTD های ساخته شده از ITO می توانند در دمای زیر 900 درجه سانتیگراد استفاده شوند، مواد سرامیکی پیزو از RTD های لایه نازک از SiAlCN ساخته شده اند، می تواند برای مدت طولانی زیر 1400 درجه سانتیگراد به طور پایدار کار کند.