Ohutkalvotermopari pietsokeraamisesta materiaalista

Termoparit pietsosähköinen materiaali pietsosähköinen levymuunnin kestää suuria lämpötila- ja lämpötehoeroja. Ohutkalvotermopari koostuu kahdesta ITO:sta pietsokeramiikka kuumilla elektrodeilla (eri varauksenkantajapitoisuuksilla) .joka voi toimia alle 1 200 °C:ssa; In2O3/ITO-ohutkalvotermoparit valmistetaan nikkelipohjaiselle metalliseokselle, jota voidaan käyttää 1 000 °C:n lämpötilassa. se toimii olosuhteissa; termoparit koostuvat In2O3:SnO2:sta (massaosuus 95 %:5 %) ja In2O3:sta .joilla on suuri lämpösähköteho, hyvä stabiilisuus ja toistettavuus huoneenlämpötilasta 1 300°C:een. Ja kestävyys, selviytymisaika pietsosähköinen vaikutus senso r ylittää 50 tuntia; ITO/Pt ohutkalvotermoparien lämpösähköinen teho on vakaa huoneenlämpötilasta 1 200 °C:seen; typen seostuksen jälkeen ITO:ssa korkean lämpötilan stabiilius paranee, typpeä on seostettu .Typpiseostetusta ITO:sta valmistetuilla lämpöelementeillä on suuri lämpöteho ja ne voivat toimia alle 1 200 °C:ssa.

Ohutkalvotermoparit on valmistettu muista pietsokeraamisista materiaaleista, jotka kestävät rajoitetut maksimikäyttölämpötilat. CrSi2/Pt-ohutkalvotermoparien lämpötehotiedot huoneenlämpötilasta 650 °C:seen ovat lineaariset, kun taas TaC/Pt-ohutkalvotermoparien lämpötehotiedot huoneenlämpötilasta 450 °C:seen ovat lineaarisia. Ohutkalvotermoparit on valmistettu SiC:stä (CMC) ja platinalla on suuri seebeck-kerroin, joka on kaksi suuruusluokkaa suurempi kuin K-tyypin lineaarinen termopari, mutta kun lämpötila on yli 1 000 °C, Pt:n ja SiC:n rajapinnalle muodostuu silisidejä. Voidaan käyttää vain alle 1 000 °C:ssa; TiC/TaC ohutkalvotermoparit Pietsoskiekkaanturia voidaan käyttää 1 350 K:n tyhjiölämpötiloissa. Ohutkalvoilmaisimen resistanssilämpötila koostuu pääosin metallista tai pietsokeraamisesta materiaalista ja sen rakenne on suhteellisen yksinkertainen. Platinaohutkalvo-RTD:t toimivat tyypillisesti lämpötiloissa 20 °C - 700 °C. Kulta ohutkalvo RTD pietsosähköinen levyanturis voi mitata lämpötiloja 20 °C - 450 °C. RTD:t on valmistettu ITO:sta voidaan käyttää alle 900 °C:ssa, ohutkalvoisten RTD:iden pietsokeraamiset materiaalit on valmistettu SiAlCN:stä, ne voivat toimia vakaasti pitkän ajan alle 1 400 °C:ssa.