Tenkovrstvý termočlánek vyrobený z piezo keramického materiálu

Termočlánky z piezoelektrický materiál piezos diskový měnič vydrží velké rozdíly v teplotě a tepelném výkonu. Tenkovrstvý termočlánek se skládá ze dvou ITO piezokeramika horkými elektrodami (s různými koncentracemi nosiče náboje) .které mohou pracovat pod 1 200 °C; Tenkovrstvé termočlánky In2O3/ITO jsou vyrobeny na substrátu ze slitiny na bázi niklu a lze je používat při teplotě 1 000°C. pracuje za podmínek; termočlánky se skládají z In2O3:SnO2 (hmotnostní zlomek 95%:5%) a In2O3, které mají velký termoelektrický výkon, dobrou stabilitu a opakovatelnost od pokojové teploty do 1 300°C. A trvanlivost, doba přežití piezoelektrický efekt senso r přesahuje 50 h; termoelektrický výkon tenkovrstvých termočlánků ITO/Pt je stabilní od pokojové teploty do 1 200°C; po dopování dusíkem v ITO se zlepší vysoká teplotní stabilita, dusík je dopován ITO Termočlánky vyrobené z platiny a platiny odolají teplotám až 1 000 °C, piezoměnič má větší termoelektrický výkon než termočlánky typu S a má lepší stabilitu při pokojové teplotě do 1 000 °C od NiCoCrAlY nanokompozitu dusíku/aluminou. ITO mají velký tepelný výkon a mohou pracovat pod 1 200 °C.

Tenkovrstvé termočlánky jsou vyrobeny z jiných piezo keramických materiálů, které vydrží omezené maximální provozní teploty. Termoelektrická výstupní data tenkovrstvých termočlánků CrSi2/Pt od pokojové teploty do 650 °C jsou lineární, zatímco tepelná výstupní data tenkovrstvých termočlánků TaC/Pt od pokojové teploty do 450 °C jsou lineární. Tenkovrstvé termočlánky jsou vyrobeny z SiC (CMC) a platina má velký Seebeckův koeficient, který je o dva řády vyšší než u lineárního termočlánku typu K, ale když je teplota vyšší než 1 000 °C, tvoří se na rozhraní mezi Pt a SiC silicidy. Lze použít pouze při teplotách pod 1 000 °C; Tenkovrstvé termočlánky TiC/TaC z piezokotoučový měnič lze použít při teplotách vakua 1 350 K. Odporová teplota tenkovrstvého detektoru se skládá převážně z kovu nebo piezokeramického materiálu a má relativně jednoduchou strukturu. Platinové tenkovrstvé RTD obvykle pracují při teplotách od 20 °C do 700 °C. Zlaté tenkovrstvé RTD z piezoelektrický deskový senzors dokáže měřit teploty od 20 °C do 450 °C. RTD jsou vyrobeny z ITO lze použít do 900 °C, piezokeramické materiály tenkovrstvých RTD jsou vyrobeny ze SiAlCN, může pracovat stabilně po dlouhou dobu pod 1 400 °C.