Termokopel filem nipis diperbuat daripada bahan seramik piezo

Termokopel daripada Transduser cakera piezos bahan piezoelektrik boleh menahan perbezaan besar dalam suhu dan keluaran haba. Termokopel filem nipis terdiri daripada dua ITO seramik piezo oleh elektrod panas (dengan kepekatan pembawa cas yang berbeza) .yang boleh beroperasi di bawah 1 200 °C; Termokopel filem nipis In2O3/ITO dibuat pada substrat aloi asas nikel boleh digunakan pada suhu 1 000°C. ia berfungsi dalam keadaan; termokopel terdiri daripada In2O3:SnO2 (pecahan jisim 95%:5%) dan In2O3 .yang mempunyai keluaran termoelektrik yang besar, kestabilan yang baik dan kebolehulangan dari suhu bilik hingga 1 300°C. Dan ketahanan, masa hidup kesan piezoelektrik sensor r melebihi 50 jam; keluaran termoelektrik termokopel filem nipis ITO/Pt adalah stabil dari suhu bilik hingga 1 200°C; selepas pendopan nitrogen dalam ITO, kestabilan suhu tinggi akan dipertingkatkan, nitrogen didopkan ITO Termokopel yang diperbuat daripada platinum dan platinum boleh menahan suhu sehingga 1 000 °C, transduser piezo mempunyai keluaran termoelektrik yang lebih besar daripada termokopel jenis-S, dan mempunyai kestabilan yang lebih baik dalam suhu bilik kepada 1 000°C/NiColuminar nanocomposite. ITO berdop nitrogen mempunyai keluaran haba yang besar dan boleh beroperasi di bawah 1 200 °C.

Termokopel filem nipis diperbuat daripada bahan seramik piezo lain yang boleh menahan suhu operasi maksimum yang terhad. Data keluaran termoelektrik bagi termokopel filem nipis CrSi2/Pt daripada suhu bilik hingga 650°C adalah linear, manakala data keluaran haba bagi termokopel filem nipis TaC/Pt daripada suhu bilik hingga 450 °C adalah linear. Termokopel filem nipis diperbuat daripada SiC (CMC) dan platinum mempunyai pekali seebeck yang besar, iaitu dua urutan magnitud lebih tinggi daripada termokopel linear jenis K, tetapi apabila suhu lebih tinggi daripada 1 000 °C, silisid terbentuk pada antara muka antara Pt dan SiC. Hanya boleh digunakan di bawah 1 000 °C; Termokopel filem nipis TiC/TaC daripada transduser cakera piezos boleh digunakan pada suhu vakum 1 350 K. Suhu rintangan pengesan filem nipis terutamanya terdiri daripada bahan seramik logam atau piezo dan mempunyai struktur yang agak mudah. RTD filem nipis platinum biasanya beroperasi dalam julat suhu dari 20 °C hingga 700 °C. RTD filem nipis emas daripada penderia plat piezoelektriks boleh mengukur suhu dari 20 °C hingga 450 °C. RTD diperbuat daripada ITO boleh digunakan di bawah 900 °C, bahan seramik piezo bagi RTD filem nipis diperbuat daripada SiAlCN, ia boleh beroperasi secara stabil untuk jangka masa yang panjang di bawah 1 400 °C.