Dun film termokoppel gemaak van piëzo keramiek materiaal

Termokoppels van piëzo-elektriese materiaal piezos skyfies transducer kan die groot verskille in die temperatuur en hitte-uitset weerstaan. 'n Dun-film termokoppel bestaan ​​uit twee ITO piëzo-keramiek deur warm elektrodes (met verskillende ladingdraerkonsentrasies) .wat onder 1 200 °C kan werk; In2O3/ITO dun-film termokoppels is vervaardig op 'n nikkel-basis legering substraat kan gebruik word by 'n temperatuur van 1 000°C. dit werk onder omstandighede; termokoppels bestaan ​​uit In2O3:SnO2 (massafraksie 95%:5%) en In2O3 .wat groot termo-elektriese uitset, goeie stabiliteit en herhaalbaarheid van kamertemperatuur tot 1 300°C het. En duursaamheid, oorlewingstyd van piëso-elektriese effek senso r oorskry 50 h; termo-elektriese uitset van ITO/Pt dunfilm termokoppels is stabiel vanaf kamertemperatuur tot 1 200°C; na stikstofdotering in die ITO, sal hoë temperatuurstabiliteit verbeter word, stikstof word gedoop. .Termokoppels gemaak van stikstofgedoteerde ITO het 'n groot hitte-uitset en kan onder 1 200 °C werk.

Dun-film termokoppels is gemaak van ander piëzo keramiek materiale kan die beperkte maksimum bedryfstemperature weerstaan. Die termo-elektriese uitsetdata van CrSi2/Pt dunfilmtermokoppels vanaf kamertemperatuur tot 650°C is lineêr, terwyl die termiese uitsetdata van TaC/Pt dunfilmtermokoppels vanaf kamertemperatuur tot 450°C lineêr is. Dunfilm-termokoppels word van SiC (CMC) gemaak en platinum het 'n groot seebeck-koëffisiënt, wat twee grootteordes hoër is as dié van die K-tipe lineêre termokoppel, maar wanneer die temperatuur hoër as 1 000 °C is, word silicides by die raakvlak tussen Pt en SiC gevorm. Kan slegs onder 1 000 °C gebruik word; TiC/TaC dunfilm termokoppels van piezos skyfies transducer kan gebruik word by vakuum temperature van 1 350 K. Die weerstand temperatuur van dun film detektor is hoofsaaklik saamgestel uit 'n metaal of piezo keramiek materiaal en het 'n relatief eenvoudige struktuur. Platinum dun-film RTD's werk tipies die wisselende temperature van 20 °C tot 700 °C. Goue dun-film RTD's van piëzo-elektriese plaat sensors kan temperature van 20 °C tot 450 °C meet. RTD's word van ITO gemaak, kan onder 900 °C gebruik word, piëzo-keramiekmateriaal van dunfilm-RTD's word van SiAlCN gemaak, dit kan stabiel werk vir 'n lang tydperk onder 1 400 °C.