Tunnfilmstermoelement tillverkat av piezokeramiskt material

Termoelement av piezoelektriskt material piezoskivor givare kan motstå de stora skillnaderna i temperatur och värmeeffekt. Ett tunnfilmstermoelement består av två ITO piezokeramik med varma elektroder (med olika laddningsbärarkoncentrationer) .som kan arbeta under 1 200 °C; In2O3/ITO tunnfilmstermoelement är tillverkade på ett nickelbaserat legeringssubstrat som kan användas vid en temperatur på 1 000°C. den fungerar under förhållanden; termoelement består av In2O3:SnO2 (massfraktion 95%:5%) och In2O3 .som har stor termoelektrisk effekt, god stabilitet och repeterbarhet från rumstemperatur till 1 300°C. Och hållbarhet, överlevnadstid av effektsensor piezoelektrisk överstiger 50 timmar; termoelektrisk effekt från ITO/Pt tunnfilmstermoelement är stabil från rumstemperatur till 1 200°C; efter kvävedopning i ITO kommer stabiliteten vid hög temperatur att förbättras, kväve doppas ITO Termoelement tillverkade av platina och platina tål temperaturer upp till 1 000 °C, piezogivare har större termoelektrisk effekt än termoelement av S-typ, och har bättre stabilitet i rumstemperaturen till 1 000Cr nanaY/NiColumina/NiColumina. .Termoelement av kvävedopad ITO har en stor värmeeffekt och kan arbeta under 1 200 °C.

Tunnfilmstermoelement är gjorda av andra piezokeramiska material som tål de begränsade maximala driftstemperaturerna. Termoelektriska utdata från CrSi2/Pt-tunnfilmstermoelement från rumstemperatur till 650°C är linjära, medan termiska utdata för TaC/Pt-tunnfilmstermoelement från rumstemperatur till 450°C är linjära. Tunnfilmstermoelement är gjorda av SiC (CMC) och platina har en stor seebeck-koefficient, vilket är två storleksordningar högre än för det linjära termoelementet av K-typ, men när temperaturen är högre än 1 000 °C bildas silicider i gränsytan mellan Pt och SiC. Kan endast användas under 1 000 °C; TiC/TaC tunnfilmstermoelement av piezos skivomvandlare kan användas vid vakuumtemperaturer på 1 350 K. Motståndstemperaturen hos tunnfilmsdetektorn består huvudsakligen av metall eller piezokeramiskt material och har en relativt enkel struktur. Platina tunnfilms RTD:er arbetar vanligtvis med temperaturer från 20 °C till 700 °C. Guld tunnfilm RTDs av piezoelektrisk plattsensors kan mäta temperaturer från 20 °C till 450 °C. RTD:er tillverkade av ITO kan användas under 900 °C, piezokeramiska material av tunnfilms RTD:er är gjorda av SiAlCN, det kan fungera stabilt under en lång tidsperiod under 1 400 °C.