Termopara cienkowarstwowa wykonana z materiału piezoceramicznego

Termopary z Przetwornik piezoelektryczny z materiałem piezoelektrycznym może wytrzymać duże różnice w temperaturze i mocy cieplnej. Termopara cienkowarstwowa składa się z dwóch ITO ceramika piezoelektryczna z gorącymi elektrodami (o różnym stężeniu nośnika ładunku), która może pracować w temperaturze poniżej 1 200 °C; Cienkowarstwowe termopary In2O3/ITO są wytwarzane na podłożu ze stopu na bazie niklu i mogą być stosowane w temperaturze 1 000°C. działa w warunkach; termopary składają się z In2O3:SnO2 (ułamek masowy 95%:5%) i In2O3, które mają dużą moc termoelektryczną, dobrą stabilność i powtarzalność od temperatury pokojowej do 1 300°C. I trwałość, czas przeżycia efekt piezoelektryczny czujnika przekracza 50 h; moc termoelektryczna termopar cienkowarstwowych ITO/Pt jest stabilna od temperatury pokojowej do 1200°C; po domieszkowaniu azotem w ITO poprawiona zostanie stabilność w wysokich temperaturach, domieszka azotu ITO Termopary wykonane z platyny i platyny wytrzymują temperatury do 1 000 °C, przetwornik piezoelektryczny ma większą moc termoelektryczną niż termopary typu S i mają lepszą stabilność w temperaturze pokojowej do 1 000 °C dzięki nanokompozytom NiCoCrAlY/tlenek glinu. Termopary wykonane z domieszkowanego azotem ITO mają dużą moc cieplną i mogą pracować w temperaturach poniżej 1 200 °C.

Termopary cienkowarstwowe są wykonane z innych materiałów piezoceramicznych i mogą wytrzymać ograniczone maksymalne temperatury robocze. Dane wyjściowe termoelektryczne termopar cienkowarstwowych CrSi2/Pt od temperatury pokojowej do 650°C są liniowe, natomiast dane wyjściowe cieplne termopar cienkowarstwowych TaC/Pt od temperatury pokojowej do 450°C są liniowe. Termopary cienkowarstwowe wykonane są z SiC (CMC) i platyny, mają duży współczynnik Seebecka, który jest o dwa rzędy wielkości wyższy niż w przypadku termopary liniowej typu K, ale gdy temperatura jest wyższa niż 1 000 °C, na granicy faz pomiędzy Pt i SiC tworzą się krzemki. Można stosować wyłącznie w temperaturze poniżej 1 000 °C; Termopary cienkowarstwowe TiC/TaC Przetwornik dyskowy piezoelektryczny może być stosowany w temperaturach próżni do 1350 K. Rezystancja temperaturowa detektora cienkowarstwowego składa się głównie z metalu lub materiału piezoceramicznego i ma stosunkowo prostą budowę. Platynowe cienkowarstwowe czujniki RTD zazwyczaj pracują w zakresie temperatur od 20°C do 700°C. Złote cienkowarstwowe czujniki RTD firmy piezoelektryczny czujnik płytowys może mierzyć temperaturę od 20°C do 450°C. Czujniki RTD wykonane z ITO mogą być stosowane w temperaturach poniżej 900°C, materiały piezoelektryczne cienkowarstwowych czujników RTD są wykonane z SiAlCN i mogą pracować stabilnie przez długi czas w temperaturze poniżej 1400°C.