Тонкаплёнкавая тэрмапара з п'езакерамічнага матэрыялу

Тэрмапары з п'езаэлектрычны матэрыял п'езадыскі пераўтваральнік можа вытрымліваць вялікія розніцы ў тэмпературы і цеплавой магутнасці. Тонкаплёнкавая тэрмапара складаецца з двух ITO п'езакераміка з дапамогай гарачых электродаў (з рознымі канцэнтрацыямі носьбітаў зарада), якія могуць працаваць пры тэмпературы ніжэй за 1200 °C; Тонкаплёнкавыя тэрмапары In2O3/ITO выраблены на падкладцы са сплаву на аснове нікеля і могуць выкарыстоўвацца пры тэмпературы 1000°C. гэта працуе ва ўмовах; тэрмапары складаюцца з In2O3:SnO2 (масавая доля 95%:5%) і In2O3, якія маюць вялікую тэрмаэлектрычную магутнасць, добрую стабільнасць і паўтаральнасць ад пакаёвай тэмпературы да 1300°C. І даўгавечнасць, час выжывання п'езаэлектрычны эфект senso r перавышае 50 гадзін; тэрмаэлектрычны выхад тонкаплёнкавых тэрмапар ITO/Pt стабільны ад пакаёвай тэмпературы да 1200°C; пасля легіравання азотам у ITO будзе палепшана стабільнасць пры высокіх тэмпературах, легіраваны азотам Тэрмапары ITO, вырабленыя з плаціны і плаціны, могуць вытрымліваць тэмпературу да 1000 °C, п'езапераўтваральнік мае большую тэрмаэлектрычную магутнасць, чым тэрмапары S-тыпу, і маюць лепшую стабільнасць пры пакаёвай тэмпературы да 1000 °C дзякуючы NiCoCrAlY/аксіду алюмінію нанакампазіты .Тэрмапары, вырабленыя з ITO з прымешкай азоту, маюць вялікую цеплавую магутнасць і могуць працаваць пры тэмпературы ніжэй за 1200 °C.

Тонкаплёнкавыя тэрмапары выраблены з іншых п'езакерамічных матэрыялаў, якія могуць вытрымліваць абмежаваныя максімальныя працоўныя тэмпературы. Даныя тэрмаэлектрычнай магутнасці тонкаплёнкавых тэрмапар CrSi2/Pt ад пакаёвай тэмпературы да 650 °C з'яўляюцца лінейнымі, у той час як даныя цеплавой магутнасці тонкаплёнкавых тэрмапар TaC/Pt ад пакаёвай тэмпературы да 450 °C з'яўляюцца лінейнымі. Тонкаплёнкавыя тэрмапары вырабляюцца з SiC (CMC) і плаціны маюць вялікі каэфіцыент Зеебека, які на два парадкі вышэй, чым у лінейных тэрмапар K-тыпу, але калі тэмпература перавышае 1000 °C, на мяжы паміж Pt і SiC утвараюцца сіліцыды. Можа выкарыстоўвацца толькі пры тэмпературы ніжэй за 1000 °C; Танкаплёнкавыя тэрмапары TiC/TaC пераўтваральнік з п'езадыскам можа выкарыстоўвацца пры тэмпературах вакууму 1350 К. Тэмпература супраціву тонкаплёнкавага дэтэктара ў асноўным складаецца з металу або п'езакерамікі і мае адносна простую структуру. Плацінавыя тонкаплёнкавыя RTD звычайна працуюць пры тэмпературах ад 20 °C да 700 °C. Залатыя тонкаплёнкавыя RTD п'езаэлектрычны пласціністы датчыкs можа вымяраць тэмпературу ад 20 °C да 450 °C. RTD выраблены з ITO і можа выкарыстоўвацца пры тэмпературы ніжэй за 900 °C, п'езакераміка тонкаплёнкавых RTD зроблена з SiAlCN, ён можа стабільна працаваць на працягу доўгага перыяду часу пры тэмпературы ніжэй за 1400 °C.