Tyndfilm termoelement lavet af piezo keramisk materiale

Termoelementer af piezoelektrisk materiale piezos discs transducer kan modstå de store forskelle i temperatur og varmeydelse. Et tyndfilm termoelement består af to ITO piezokeramik ved hjælp af varme elektroder (med forskellige ladningsbærerkoncentrationer), som kan fungere under 1 200 °C; In2O3/ITO tyndfilm termoelementer er fremstillet på et nikkel-baseret legeringssubstrat, der kan bruges ved en temperatur på 1 000°C. det arbejder under forhold; termoelementer består af In2O3:SnO2 (massefraktion 95%:5%) og In2O3, som har stor termoelektrisk effekt, god stabilitet og repeterbarhed fra stuetemperatur til 1300°C. Og holdbarhed, overlevelsestid af effektsensor piezoelektrisk overstiger 50 timer; termoelektrisk output fra ITO/Pt tyndfilm termoelementer er stabilt fra stuetemperatur til 1 200°C; efter nitrogen-doping i ITO, vil højtemperaturstabiliteten blive forbedret, nitrogen doppes ITO Termoelementer lavet af platin og platin kan modstå temperaturer op til 1 000 °C, piezo-transducer har større termoelektrisk effekt end S-type termoelementer og har bedre stabilitet i rumtemperaturen til 1 000Cr nanaY/NiColumina/NiColumina. .Termoelementer lavet af nitrogen-doteret ITO har en stor varmeydelse og kan fungere under 1 200 °C.

Tyndfilm termoelementer er lavet af andre piezo keramiske materialer kan modstå de begrænsede maksimale driftstemperaturer. De termoelektriske outputdata for CrSi2/Pt tyndfilmstermoelementer fra stuetemperatur til 650°C er lineære, mens de termiske outputdata for TaC/Pt tyndfilmstermoelementer fra stuetemperatur til 450°C er lineære. Tyndfilmstermoelementer er lavet af SiC (CMC), og platin har en stor seebeck-koefficient, som er to størrelsesordener højere end for det lineære termoelement af K-typen, men når temperaturen er højere end 1 000 °C, dannes silicider ved grænsefladen mellem Pt og SiC. Kan kun bruges under 1 000 °C; TiC/TaC tyndfilm termoelementer af piezos discs transducer kan bruges ved vakuumtemperaturer på 1 350 K. Modstandstemperaturen for tyndfilmdetektor er hovedsageligt sammensat af et metal eller piezokeramisk materiale og har en relativt enkel struktur. Platin tyndfilm RTD'er opererer typisk med temperaturer fra 20 °C til 700 °C. Guld tyndfilm RTD'er af piezoelektrisk pladesensors kan måle temperaturer fra 20 °C til 450 °C. RTD'er er lavet af ITO kan bruges under 900 °C, piezo keramiske materialer af tyndfilm RTD'er er lavet af SiAlCN, det kan fungere stabilt i lang tid under 1 400 °C.