पीजो सिरेमिक सामग्री से बनी पतली फिल्म थर्मोकपल

के थर्मोकपल पीजोइलेक्ट्रिक सामग्री पीजोस डिस्क ट्रांसड्यूसर तापमान और ताप उत्पादन में बड़े अंतर का सामना कर सकता है। एक पतली-फिल्म थर्मोकपल में दो आईटीओ होते हैं गर्म इलेक्ट्रोड द्वारा पीजो सिरेमिक (विभिन्न चार्ज वाहक सांद्रता के साथ)। जो 1 200 डिग्री सेल्सियस से नीचे काम कर सकता है; In2O3/ITO पतली-फिल्म थर्मोकपल निकल-बेस मिश्र धातु सब्सट्रेट पर निर्मित होते हैं, जिनका उपयोग 1 000°C के तापमान पर किया जा सकता है। यह परिस्थितियों के तहत काम कर रहा है; थर्मोकपल में In2O3:SnO2 (द्रव्यमान अंश 95%:5%) और In2O3 शामिल हैं। जिनमें बड़े थर्मोइलेक्ट्रिक आउटपुट, अच्छी स्थिरता और कमरे के तापमान से 1 300 डिग्री सेल्सियस तक दोहराने की क्षमता है। और स्थायित्व, अस्तित्व का समय पीज़ोइलेक्ट्रिक प्रभाव सेंसो आर 50 घंटे से अधिक है; आईटीओ/पीटी पतली फिल्म थर्मोकपल का थर्मोइलेक्ट्रिक आउटपुट कमरे के तापमान से 1 200 डिग्री सेल्सियस तक स्थिर है; आईटीओ में नाइट्रोजन डोपिंग के बाद, उच्च तापमान स्थिरता में सुधार किया जाएगा, नाइट्रोजन को आईटीओ में डाला जाता है प्लैटिनम और प्लैटिनम से बने थर्मोकपल 1,000 डिग्री सेल्सियस तक तापमान का सामना कर सकते हैं, पीजो ट्रांसड्यूसर में एस-प्रकार थर्मोकपल की तुलना में अधिक थर्मोइलेक्ट्रिक आउटपुट होता है, और NiCoCrAlY/एल्यूमिना नैनोकम्पोजिट्स द्वारा कमरे के तापमान में 1,000 डिग्री सेल्सियस तक बेहतर स्थिरता होती है। नाइट्रोजन-डोप्ड से बने थर्मोकपल आईटीओ का ताप उत्पादन बड़ा है और यह 1 200 डिग्री सेल्सियस से नीचे काम कर सकता है।

पतली-फिल्म थर्मोकपल अन्य पीजो सिरेमिक सामग्रियों से बने होते हैं जो सीमित अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान का सामना कर सकते हैं। कमरे के तापमान से 650°C तक CrSi2/Pt पतली फिल्म थर्मोकपल का थर्मोइलेक्ट्रिक आउटपुट डेटा रैखिक है, जबकि कमरे के तापमान से 450°C तक TaC/Pt पतली फिल्म थर्मोकपल का थर्मल आउटपुट डेटा रैखिक है। पतली-फिल्म थर्मोकपल SiC (CMC) से बने होते हैं और प्लैटिनम में एक बड़ा सीबेक गुणांक होता है, जो K-प्रकार के रैखिक थर्मोकपल की तुलना में परिमाण के दो क्रम अधिक होता है, लेकिन जब तापमान 1 000 डिग्री सेल्सियस से अधिक होता है, तो Pt और SiC के बीच इंटरफेस पर सिलिकाइड्स बनते हैं। केवल 1,000 डिग्री सेल्सियस से नीचे उपयोग किया जा सकता है; TiC/TaC पतली-फिल्म थर्मोकपल पीज़ोस डिस्क ट्रांसड्यूसर का उपयोग 1 350 K के वैक्यूम तापमान पर किया जा सकता है। पतली फिल्म डिटेक्टर का प्रतिरोध तापमान मुख्य रूप से धातु या पीज़ो सिरेमिक सामग्री से बना होता है और इसकी संरचना अपेक्षाकृत सरल होती है। प्लैटिनम थिन-फिल्म आरटीडी आमतौर पर 20 डिग्री सेल्सियस से 700 डिग्री सेल्सियस तक के तापमान पर काम करते हैं। सोने की पतली-फिल्म आरटीडी पीज़ोइलेक्ट्रिक प्लेट सेंसरs 20°C से 450°C तक तापमान माप सकते हैं। आरटीडी आईटीओ से बने होते हैं, जिनका उपयोग 900 डिग्री सेल्सियस से नीचे किया जा सकता है, पतली फिल्म आरटीडी की पीजो सिरेमिक सामग्री SiAlCN से बनी होती है, यह 1 400 डिग्री सेल्सियस से नीचे लंबे समय तक स्थिर रूप से काम कर सकती है।