Forskningsstatus for alumina piezo keramisk slipe- og poleringsteknologi

Sammenligningstesten mellom A120 vanlig sliping og ultralydsliping ble utført under de forskjellige vibrasjonsmodusene. Den primære og sekundære rekkefølgen av påvirkningen av ulike slipeprosessparametere på overflateruheten til arbeidsstykket ble studert, og arbeidsstykkets rotasjonshastighet, matehastighet, slipedybde og generator ble analysert. Påvirkningen av forskjellige piezo keramisk sensor som strøm på overflateruhet. Sammenligningstestresultatene viser at ultrasonisk vibrasjonssliping er en effektiv prosesseringsmetode for harde og sprø materialer som piezokeramikk. Gjennom ultralydsliping og mekanisk sliping sammenligningstesten av piezokeramikk, ble påvirkningen av ulike prosessparametere på slipeoverflatens kvalitet studert. Studier har vist at når ultralydsvibrasjonsretningen er parallell med krypematingsretningen, kan overflateruhetsverdien reduseres, når ultralydvibrasjonsretningen er vinkelrett på krypematingsretningen, bidrar det ikke til forbedring av den maskinerte overflaten i ultralydslipeprosessen. hvilken modus er å forbedre overflatekvaliteten, en lavere matehastighet, en lavere matehastighet, en mindre slipehastighet og en mindre slipehastighet og en slipehastighet. metoden skal brukes. 

Forholdet mellom overflateruheten til piezokeramikk og dets mikrostruktur ble studert ved å studere variasjonen av overflateruheten til piezokeramikk etter fire forskjellige mikrostrukturer. Resultatene viser at partikkelstørrelsen til slipemidlet og mikrostrukturen til materialet bestemmer overflateruheten til HIFU piezoelektrisk elementmateriale . Generelt, jo mindre slipekornstørrelse og piezokeramisk størrelse, desto høyere er overflateruheten. Når den slipende partikkelstørrelsen faller til samme nivå som den keramiske kornstørrelsen. nøkkelfaktoren er å bestemme overflateruheten til det piezokeramiske materialet er størrelsen og antall porer på overflaten av materialet. Jo tettere materiale, jo høyere er nøyaktigheten av overflateruheten etter bearbeiding. Ytelsen og fjerningsmekanismen til piezokeramikk av aluminiumoksyd med høy renhet ble studert. Presisjonsslipeeksperimentene med piezokeramikk av aluminiumoksyd med høy renhet ble utført med en slipemaskin. 

Den sfæriske overflatebehandlingsmetoden og behandlingen av høyrent aluminiumoksyd piezo-keramikk ble verifisert. Effekten oppnås ved å etterbehandle piezokeramikk med høy renhet av aluminiumoksyd. Prosessflyten for ultrapresisjonsmaskinering av 700 mm piezokeramisk guide ble fremmet. Prosessmetoden for parametere og deteksjonsmetoden for polering av styreskinnene ved hjelp av ultrapresisjon styreskinne-sliping og poleringsmaskin utviklet av oss selv ble detaljert, og den optiske behandlingen av PZT-materiale piezoelektrisk keramisk styreskinne ble realisert. Maksimal toppdalverdi for formfeilen er 0,78, og RMS-verdien til overflatefeilen.

Enkelt- og dobbeltsidig slipe- og poleringsforsøk ble utført på alumina akustiske piezoelektriske rørsubstrater , hovedsakelig diskuterer prosessparametere som slipemiddeltype, slipemiddelpartikkelstørrelse, slipetrykk, sliping rotasjonshastighet, slurrystrømningshastighet og slipemiddelkonsentrasjon av slipende væske i forskjellige prosesseringsmetoder. Materialets påvirkning har fjerningshastighet, overflateruhet og overflatetopografi ble analysert. Materialfjerningsmekanismen ble analysert. Ved å optimalisere slipe- og poleringsprosessen ble det oppnådd en jevn overflate med nanometer overflateruhet.