Стан досліджень технології шліфування та полірування п’єзокераміки з оксиду алюмінію

Порівняльний тест між звичайним шліфуванням A120 і ультразвуковим шліфуванням проводився в різних режимах вібрації. Досліджено первинний та вторинний порядок впливу різних параметрів процесу шліфування на шорсткість поверхні заготовки, проаналізовано швидкість обертання заготовки, швидкість подачі, глибину шліфування та генератор. Вплив різн п'єзокерамічний датчик , такий як живлення шорсткості поверхні. Результати порівняльного випробування показують, що шліфування ультразвуковою вібрацією є ефективним методом обробки твердих і крихких матеріалів, таких як п’єзокераміка. За допомогою порівняльного випробування п’єзокераміки на ультразвукове та механічне шліфування було вивчено вплив різних параметрів обробки на якість поверхні шліфування. Дослідження показали, що коли напрямок ультразвукової вібрації паралельний напрямку подачі повзучості, значення шорсткості поверхні може бути зменшено, коли напрямок ультразвукової вібрації перпендикулярний напрямку подачі повзучості, це не сприяє покращенню обробленої поверхні під час обробки ультразвуковим шліфуванням. Цей режим покращує якість поверхні, меншу швидкість подачі, меншу глибину шліфування, відповідну високу швидкість шліфування. і слід використовувати метод подрібнення комбікорму. 

Взаємозв’язок між шорсткістю поверхні п’єзокераміки та її мікроструктурою вивчали шляхом вивчення зміни шорсткості поверхні п’єзокераміки після чотирьох різних мікроструктур. Результати показують, що розмір частинок абразиву та мікроструктура матеріалу визначають шорсткість поверхні п'єзоелектричного елемента HIFU . Матеріал Загалом, чим менший розмір абразивного зерна та розмір п’єзокераміки, тим вища шорсткість поверхні. Коли розмір абразивних частинок падає до того ж рівня, що й розмір керамічного зерна. ключовим фактором, що визначає шорсткість поверхні п'єзокерамічного матеріалу, є розмір і кількість пор на поверхні матеріалу. Чим щільніший матеріал, тим вища точність шорсткості поверхні після обробки. Досліджено характеристики та механізм видалення п’єзокераміки високої чистоти з оксиду алюмінію. Експерименти з прецизійним шліфуванням високочистої п’єзокераміки з оксиду алюмінію проводилися за допомогою шліфувальної машини. 

Перевірено метод обробки сферичної поверхні та обробку п’єзокераміки високої чистоти з оксиду алюмінію. Ефект досягається фінішною обробкою п’єзокераміки з оксиду алюмінію високої чистоти. Запропоновано технологічний процес надточної обробки п'єзокерамічної направляючої діаметром 700 мм. Метод процесу параметрів і метод виявлення полірування напрямної рейки за допомогою надточної машини для шліфування та полірування напрямних рейок, розробленої нами, були деталізовані, а також оптична обробка з PZT . Реалізовано п'єзоелектричну керамічну напрямну Максимальне пікове значення похибки форми становить 0,78, а середньоквадратичне значення похибки поверхні.

Експерименти з одно- та двостороннього шліфування та полірування проводилися на оксиді алюмінію підкладки для акустичних п’єзоелектричних трубок , в основному обговорюючи параметри обробки, такі як тип абразиву, розмір абразивних частинок, тиск шліфування, швидкість обертання шліфування, швидкість потоку суспензії та концентрацію абразиву в абразивній рідині в різних методах обробки. Було проаналізовано вплив матеріалу на швидкість знімання, шорсткість поверхні та топографію поверхні. Проаналізовано механізм видалення матеріалу. Завдяки оптимізації процесу шліфування та полірування була отримана гладка поверхня з нанометровою шорсткістю.