Forskningsstatus för piezokeramisk slip- och poleringsteknik för aluminiumoxid

Jämförelsetestet mellan A120 vanlig slipning och ultraljudsslipning utfördes under de olika vibrationslägena. Den primära och sekundära ordningen för påverkan av olika slipprocessparametrar på arbetsstyckets ytjämnhet studerades, och arbetsstyckets rotationshastighet, matningshastighet, slipdjup och generator analyserades. Inflytandet av olika piezokeramisk sensor som t.ex. ström på ytjämnhet. Jämförelsetestresultaten visar att ultraljudsvibrationsslipning är en effektiv bearbetningsmetod för hårda och spröda material som piezokeramik. Genom ultraljudsslipning och mekanisk slipning jämförelsetest av piezokeramer studerades inverkan av olika bearbetningsparametrar på slipytans kvalitet. Studier har visat att när ultraljudsvibrationsriktningen är parallell med krypmatningsriktningen kan ytojämnhetsvärdet reduceras, när ultraljudsvibrationsriktningen är vinkelrät mot krypmatningsriktningen är det inte gynnsamt för förbättringen av den bearbetade ytan i ultraljudsslipningen. Vilket läge är att förbättra ytkvaliteten, en lägre matningshastighet, en lägre matningshastighet och en mindre sliphastighet och en mindre slipning och mindre slipning. metod bör användas. 

Sambandet mellan ytjämnheten hos piezokeramer och dess mikrostruktur studerades genom att studera variationen av ytjämnhet hos piezokeramik efter fyra olika mikrostrukturer. Resultaten visar att slipmedlets partikelstorlek och materialets mikrostruktur bestämmer ytjämnheten hos piezokeramen. HIFU piezoelektriskt elementmaterial . I allmänhet gäller att ju mindre slipkornstorlek och piezokeramisk storlek, desto högre är ytråheten. När den slipande partikelstorleken faller till samma nivå som den keramiska kornstorleken. nyckelfaktorn är att bestämma ytråheten hos det piezokeramiska materialet är storleken och antalet porer på materialets yta. Ju tätare material, desto högre är noggrannheten för ytråheten efter bearbetning. Prestandan och borttagningsmekanismen för piezokeramer av aluminiumoxid med hög renhet studerades. Precisionsslipningsexperimenten av piezokeramik av aluminiumoxid med hög renhet utfördes med en slipmaskin. 

Den sfäriska ytbearbetningsmetoden och bearbetningen av piezokeramik av aluminiumoxid med hög renhet verifierades. Effekten uppnås genom att efterbehandla piezokeramik av aluminiumoxid med hög renhet. Processflödet för ultraprecisionsbearbetning av 700 mm piezokeramisk styrning lades fram. Processmetoden för parametrar och detekteringsmetoden för styrskenspolering med ultraprecisionsslipning och poleringsmaskin för styrskenor som utvecklats av oss var detaljerade, och den optiska bearbetningen av PZT material piezoelektrisk keramisk styrskena realiserades. Det maximala toppdalvärdet för formfelet är 0,78, och RMS-värdet för ytfelet.

Enkel- och dubbelsidiga slip- och poleringsexperiment utfördes på aluminiumoxid akustiska piezoelektriska rörsubstrat, huvudsakligen diskuterar bearbetningsparametrarna såsom slipmedelstyp, slipmedelspartikelstorlek, sliptryck, sliprotationshastighet, slurryflödeshastighet och slipmedelskoncentration av slipmedelsvätska i olika bearbetningsmetoder. Materialets påverkan har avlägsningshastighet, ytjämnhet och yttopografi analyserades. Mekanismen för borttagning av material analyserades. Genom att optimera slip- och poleringsprocessen erhölls en slät yta med nanometer ytjämnhet.