Alumiinioksidin pietsokeraaminen hionta- ja kiillotusteknologian tutkimustilanne

Vertailukoe A120 tavallisen hionnan ja ultraäänihionnan välillä tehtiin eri tärinätiloilla. Tutkittiin eri hiontaprosessiparametrien vaikutuksen ensisijaista ja toissijaista järjestystä työkappaleen pinnan karheuteen sekä analysoitiin työkappaleen pyörimisnopeus, syöttönopeus, hiontasyvyys ja generaattori. Erilaisten vaikutus pietsokeraaminen anturi, kuten teho pinnan karheudelle. Vertailutestitulokset osoittavat, että ultraäänivärähtelyhionta on tehokas käsittelymenetelmä koville ja hauraille materiaaleille, kuten pietsokeramiikka. Pietsokeramiikan ultraäänihionta- ja mekaanisen hiontavertailutestin avulla tutkittiin erilaisten käsittelyparametrien vaikutusta hiontapinnan laatuun. Tutkimukset ovat osoittaneet, että kun ultraäänivärähtelyn suunta on yhdensuuntainen ryöminnän syöttösuunnan kanssa, pinnan karheusarvoa voidaan alentaa, kun ultraäänivärähtelyn suunta on kohtisuorassa ryöminnän syöttösuuntaan nähden, se ei edistä koneistetun pinnan parantamista ultraäänihiontakäsittelyssä. Kumpi tila on parantaa pinnan laatua, pienempi hiontasyvyys ja syöttönopeus, pienempi hiontasyvyys, syöttönopeus, pienempi hiontasyvyys. käytetty. 

Pietsokeramiikan pinnankarheuden ja sen mikrorakenteen välistä suhdetta tutkittiin tutkimalla pietsokeramiikan pinnan karheuden vaihtelua neljän eri mikrorakenteen jälkeen. Tulokset osoittavat, että hioma-aineen hiukkaskoko ja materiaalin mikrorakenne määräävät hioma-aineen pinnan karheuden. HIFU pietsosähköinen elementtimateriaali . Yleensä mitä pienempi hiomaraekoko ja pietsokeraaminen koko, sitä suurempi on pinnan karheus. Kun hiomahiukkaskoko putoaa samalle tasolle keraamisen raekoon kanssa. avaintekijä pietsokeraamisen materiaalin pinnan karheuden määrittämisessä on materiaalin pinnalla olevien huokosten koko ja lukumäärä. Mitä tiheämpi materiaali, sitä suurempi on pinnan karheuden tarkkuus käsittelyn jälkeen. Erittäin puhtaan alumiinioksidin pietsokeramiikan suorituskykyä ja poistomekanismia tutkittiin. Erittäin puhtaan alumiinioksidin pietsokeramiikan tarkkuushiontakokeet suoritettiin hiomakoneella. 

Pallopinnan käsittelymenetelmä ja erittäin puhtaan alumiinioksidin pietsokeramiikan prosessointi varmistettiin. Vaikutus saavutetaan viimeistelemällä erittäin puhdasta alumiinioksidia pietsokeramiikkaa. Esitettiin 700 mm:n pietsokeraamisen ohjaimen erittäin tarkan työstön prosessi. Meidän kehittämämme parametrien prosessimenetelmä ja ohjauskiskon kiillotuksen tunnistusmenetelmä ultratarkalla ohjauskiskon hioma- ja kiillotuskoneella esitettiin yksityiskohtaisesti, ja ohjauskiskon optinen käsittely PZT-materiaalista pietsosähköinen keraaminen ohjauskisko toteutettiin. Muotovirheen huippulaakson maksimiarvo on 0,78 ja pintavirheen RMS-arvo.

Alumiinioksidilla suoritettiin yksi- ja kaksipuoleisia hionta- ja kiillotuskokeita akustisten pietsosähköisten putkien substraatteja, jotka käsittelevät pääasiassa käsittelyparametreja, kuten hiomatyyppiä, hiomahiukkasten kokoa, jauhatuspainetta, jauhatuspyörimisnopeutta, lietteen virtausnopeutta ja hankaavan nesteen pitoisuutta eri käsittelymenetelmissä. Materiaalin vaikutusta poistumisnopeuteen, pinnan karheutta ja pinnan topografiaa analysoitiin. Materiaalin poistomekanismi analysoitiin. Hionta- ja kiillotusprosessia optimoimalla saatiin sileä pinta nanometrin pinnan karheudella.