høytemperatur tynnfilm ultralydsvinger

Et bredt utvalg av høytemperatur tynnfilm ultralydsvinger er introdusert. høytemperatur tynnfilmstøyningsmålere og høytemperatur tynnfilmstøyningsmålere brukes for legerte tynnfilmer duo til de sensitive materialene på et tidlig stadium. På grunn av ulike materialegenskaper og produksjonsprosesser av ultralyd avstand transduser , tynn-film strain gauges er laget av forskjellige legeringer. som tåler temperaturen varierer sterkt. For eksempel kan NiCr-legering tynnfilm strekkmålere tåle testtemperaturer på 600°C; PdCr-legering tynnfilmstøyningsmålere kan nå en maksimal driftstemperatur for ultralydavstandssensor. 

Etter optimalisering av prosessparametere kan de brukes ved en temperatur på 1 100°C; Ni-CrAlY tynnfilmstøyningsmålere tåler temperaturer opp til 800°C. piezo keramiske materialer tåler høyere temperaturer enn legeringer for tiden, piezo keramiske strain gauges inkluderer ITO (Indium Tin Oxide) og TaN 2 typer. ITO tynnfilm strekkmålere kan operere ved romtemperatur på ultrasonisk rekkeviddesensor datablad , men belastningsnivået og temperaturen har stor effekt på variasjonskoeffisienten, som hovedsakelig er forårsaket av diffusjon av oksygen i ITO-filmen. TaN tynnfilmstøyningsmålere tåler temperaturer opp til 400°C. Prosessparametere har stor innflytelse på mikrostrukturen til TaN-tynne filmer med ultralydområdesensor .motstandskoeffisienten og tøyningskoeffisienten til tynnfilmstøyningsmålere. TCR-temperaturmotstandskoeffisienten til piezokeramikk og legeringer er motsatt av hverandre og kan oppheve hverandre. 

For tiden er flerlags tynnfilmstøyningsmålere laget av piezokeramikk og legeringer er produsert. TaN er ustabil i luften over 500 °C, så brukstemperaturen til TaN/PdCr flerlags strain gauges ikke overstiger 500 °C. Bariumstrontiumtitanatet brukes som det følsomme mediet til den kapasitive ultralydavstandsmålingssensoren, og PdCr-elektroden som høytemperatur-tynnfilmstøyningsmåleren vedtar en flat plate-interdigitert struktur og tåler en høy temperatur på 500 °C.