उच्च तापमान पतली फिल्म अल्ट्रासोनिक ट्रांसड्यूसर

उच्च तापमान वाली पतली-फिल्म की एक विस्तृत श्रृंखला अल्ट्रासोनिक ट्रांसड्यूसर पेश किए गए हैं। उच्च तापमान वाली पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज और उच्च तापमान वाली पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज का उपयोग प्रारंभिक चरण में संवेदनशील सामग्रियों के लिए मिश्र धातु की पतली फिल्मों की जोड़ी के लिए किया जाता है। विभिन्न सामग्री विशेषताओं और विनिर्माण प्रक्रियाओं के कारण अल्ट्रासोनिक दूरी ट्रांसड्यूसर , पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज विभिन्न मिश्र धातुओं द्वारा बनाए जाते हैं। जो तापमान में काफी भिन्नता का सामना कर सकते हैं। उदाहरण के लिए, NiCr मिश्र धातु पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज 600°C के परीक्षण तापमान का सामना कर सकते हैं; पीडीसीआर मिश्र धातु पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज अल्ट्रासोनिक दूरी सेंसर के अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान तक पहुंच सकते हैं। 

प्रक्रिया मापदंडों के अनुकूलन के बाद, उनका उपयोग 1 100°C के तापमान पर किया जा सकता है; Ni-CrAlY पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज 800°C तक तापमान का सामना कर सकते हैं। पीजो सिरेमिक सामग्री वर्तमान में मिश्र धातुओं की तुलना में उच्च तापमान का सामना कर सकती है, पीजो सिरेमिक स्ट्रेन गेज में आईटीओ (इंडियम टिन ऑक्साइड) और टीएएन 2 प्रकार शामिल हैं। आईटीओ पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज कमरे के तापमान पर काम कर सकते हैं अल्ट्रासोनिक रेंज सेंसर डेटाशीट , लेकिन तनाव स्तर और तापमान का भिन्नता के गुणांक पर बड़ा प्रभाव पड़ता है, जो मुख्य रूप से आईटीओ फिल्म में ऑक्सीजन के प्रसार के कारण होता है। TaN पतली-फिल्म स्ट्रेन गेज 400°C तक तापमान का सामना कर सकते हैं। प्रक्रिया मापदंडों का TaN पतली फिल्म अल्ट्रासोनिक रेंज सेंसर की सूक्ष्म संरचना पर बहुत प्रभाव पड़ता है। पतली फिल्म तनाव गेज के प्रतिरोध और तनाव गुणांक का गुणांक। पीजो सिरेमिक और मिश्र धातुओं के प्रतिरोध का टीसीआर तापमान गुणांक एक दूसरे के विपरीत है और एक दूसरे को रद्द कर सकता है। 

वर्तमान में, मल्टीलेयर थिन-फिल्म स्ट्रेन गेज पीजो सिरेमिक से बने होते हैं और मिश्र धातुओं का उत्पादन किया गया है। TaN 500°C से ऊपर हवा में अस्थिर है, इसलिए TaN/PdCr मल्टीलेयर स्ट्रेन गेज का उपयोग तापमान 500°C से अधिक नहीं होता है। बेरियम स्ट्रोंटियम टाइटेनेट का उपयोग कैपेसिटिव अल्ट्रासोनिक दूरी माप सेंसर के संवेदनशील माध्यम के रूप में किया जाता है, और पीडीसीआर इलेक्ट्रोड का उपयोग उच्च तापमान पतली फिल्म स्ट्रेन गेज के रूप में किया जाता है, जो एक फ्लैट प्लेट इंटरडिजिटेड संरचना को अपनाता है और 500 डिग्री सेल्सियस के उच्च तापमान का सामना कर सकता है।