traductor cu ultrasunete cu film subțire la temperatură înaltă

O gamă largă de pelicule subțiri la temperatură înaltă traductoare cu ultrasunete . sunt introduse Extensometrele cu peliculă subțire de temperatură înaltă și extensometrele cu peliculă subțire de temperatură înaltă sunt utilizate pentru peliculele subțiri din aliaje în combinație cu materialele sensibile într-un stadiu incipient. Datorită diferitelor caracteristici ale materialelor și proceselor de fabricație ale Traductor de distanță cu ultrasunete , tensiometrele cu peliculă subțire sunt realizate din aliaje diferite. Care poate rezista la temperatură variază foarte mult. De exemplu, tensometrele cu peliculă subțire din aliaj de NiCr pot rezista la temperaturi de testare de 600°C; Tensometrele cu peliculă subțire din aliaj PdCr pot atinge o temperatură maximă de funcționare a senzorului de distanță ultrasonic. 

După optimizarea parametrilor procesului, aceștia pot fi utilizați la o temperatură de 1 100°C; Tensometrele Ni-CrAlY cu peliculă subțire pot rezista la temperaturi de până la 800°C. Materialele piezo ceramice pot rezista la temperaturi mai ridicate decât aliajele în prezent, tensometrele piezo ceramice includ tipurile ITO (Indium Stan Oxide) și TaN 2. Tensometrele ITO cu peliculă subțire pot funcționa la temperatura camerei de Fișa tehnică a senzorului cu ultrasunete , dar nivelul de deformare și temperatura au un efect mare asupra coeficientului de variație, care este cauzat în principal de difuzia oxigenului în filmul ITO. Tensometrele TaN cu peliculă subțire pot rezista la temperaturi de până la 400°C. Parametrii procesului au o mare influență asupra microstructurii senzorului cu ultrasunete TaN cu pelicule subțiri .coeficientul de rezistență și coeficientul de deformare al tensometrelor cu film subțire. Coeficientul de temperatură TCR de rezistență al ceramicii piezo și aliajelor este opus unul celuilalt și se poate anula unul pe celălalt. 

În prezent, tensometrele cu film subțire multistrat sunt fabricate din ceramică piezo și au fost produse aliaje. TaN este instabil în aer peste 500 °C, astfel încât temperatura de utilizare a tensometrelor multistrat TaN/PdCr nu depășește 500 °C. Titanatul de stronțiu de bariu este utilizat ca mediu sensibil al senzorului de măsurare a distanței cu ultrasunete capacitiv, iar electrodul PdCr, ca tensiometru cu film subțire de temperatură înaltă, adoptă o structură interdigitată cu placă plană și poate rezista la o temperatură ridicată de 500°C.