transduser ultrasonik film tipis suhu tinggi

Berbagai macam film tipis suhu tinggi transduser ultrasonik diperkenalkan. pengukur regangan film tipis suhu tinggi dan pengukur regangan film tipis suhu tinggi digunakan untuk paduan film tipis duo dengan bahan sensitif pada tahap awal. Karena karakteristik bahan dan proses pembuatan yang berbeda transduser jarak ultrasonik , pengukur regangan film tipis dibuat dari paduan yang berbeda. Yang dapat menahan suhu sangat bervariasi. Misalnya, pengukur regangan film tipis paduan NiCr dapat menahan suhu pengujian 600°C; Pengukur regangan film tipis paduan PdCr dapat mencapai suhu pengoperasian maksimum sensor jarak ultrasonik. 

Setelah optimalisasi parameter proses, parameter tersebut dapat digunakan pada suhu 1 100°C; Pengukur regangan film tipis Ni-CrAlY dapat menahan suhu hingga 800°C. bahan keramik piezo dapat menahan suhu yang lebih tinggi dibandingkan paduan saat ini, alat pengukur regangan keramik piezo meliputi jenis ITO (Indium Tin Oxide) dan TaN 2. Pengukur regangan film tipis ITO dapat beroperasi pada suhu kamar lembar data sensor jangkauan ultrasonik , tetapi tingkat regangan dan suhu memiliki pengaruh besar terhadap koefisien variasi, yang terutama disebabkan oleh difusi oksigen dalam film ITO. Pengukur regangan film tipis TaN dapat menahan suhu hingga 400°C. Parameter proses memiliki pengaruh yang besar terhadap struktur mikro sensor jangkauan ultrasonik film tipis TaN. Koefisien resistansi dan koefisien regangan alat pengukur regangan film tipis. Koefisien ketahanan suhu TCR keramik dan paduan piezo berlawanan satu sama lain dan dapat saling meniadakan. 

Saat ini, pengukur regangan film tipis multilayer terbuat dari keramik piezo dan paduannya telah diproduksi. TaN tidak stabil di udara di atas 500 °C, sehingga suhu penggunaan pengukur regangan multilayer TaN/PdCr tidak melebihi 500 °C. Barium strontium titanat digunakan sebagai media sensitif sensor pengukuran jarak ultrasonik kapasitif, dan elektroda PdCr sebagai pengukur regangan film tipis suhu tinggi mengadopsi struktur interdigitasi pelat datar dan dapat menahan suhu tinggi 500°C.