högtemperatur tunnfilms ultraljudsgivare

Ett brett utbud av högtemperatur tunnfilm ultraljudsgivare införs. töjningsmätare för hög temperatur och tunnfilm med hög temperatur används för legerade tunnfilmer duo till de känsliga materialen i ett tidigt skede. På grund av olika materialegenskaper och tillverkningsprocesser av ultraljudsavståndsgivare , tunnfilmstöjningsmätare är gjorda av olika legeringar, som tål temperaturen varierar kraftigt. Till exempel kan töjningsmätare av NiCr-legering tunnfilm motstå testtemperaturer på 600°C; Töjningsmätare av PdCr-legering med tunnfilm kan nå en maximal driftstemperatur för ultraljudsavståndssensorn. 

Efter optimering av processparametrar kan de användas vid en temperatur på 1 100°C; Ni-CrAlY tunnfilmstöjningsmätare tål temperaturer upp till 800°C. piezokeramiska material kan motstå högre temperaturer än legeringar för närvarande, piezokeramiska töjningsmätare inkluderar ITO (Indium Tin Oxide) och TaN 2 typer. ITO tunnfilms-töjningsmätare kan arbeta vid rumstemperatur på ultraljudsavståndssensor datablad , men töjningsnivån och temperaturen har stor effekt på variationskoefficienten, som främst orsakas av diffusion av syre i ITO-filmen. TaN tunnfilmstöjningsmätare tål temperaturer upp till 400°C. Processparametrar har ett stort inflytande på mikrostrukturen hos TaN tunnfilms ultraljudssensorer. motståndskoefficienten och töjningskoefficienten för tunnfilmstöjningsmätare. TCR-temperaturmotståndskoefficienten för piezokeramer och legeringar är motsatta varandra och kan upphäva varandra. 

För närvarande är flerskikts tunnfilmstöjningsmätare gjorda av piezokeramik och legeringar har tillverkats. TaN är instabilt i luften över 500°C, så användningstemperaturen för TaN/PdCr flerskiktstöjningsmätare överstiger inte 500°C. Bariumstrontiumtitanatet används som det känsliga mediet för den kapacitiva ultraljudsavståndsmätningssensorn, och PdCr-elektroden som töjningsmätaren med tunn film med hög temperatur antar en sammanflätad struktur med platt platta och tål en hög temperatur på 500°C.