محول طاقة بالموجات فوق الصوتية ذو الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية

مجموعة واسعة من الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية محول بالموجات فوق الصوتية . يتم تقديم تُستخدم مقاييس إجهاد الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية ومقاييس إجهاد الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية في الأغشية الرقيقة المصنوعة من السبائك ثنائية المواد الحساسة في مرحلة مبكرة. بسبب خصائص المواد المختلفة وعمليات التصنيع محول المسافة بالموجات فوق الصوتية ، ومقاييس سلالة الأغشية الرقيقة مصنوعة من سبائك مختلفة. والتي يمكن أن تتحمل درجات الحرارة تختلف بشكل كبير. على سبيل المثال، يمكن لأجهزة قياس الضغط ذات الأغشية الرقيقة المصنوعة من سبائك NiCr أن تتحمل درجات حرارة اختبار تصل إلى 600 درجة مئوية؛ يمكن أن تصل أجهزة قياس السلالة ذات الأغشية الرقيقة المصنوعة من سبائك PdCr إلى أقصى درجة حرارة تشغيل لمستشعر المسافة بالموجات فوق الصوتية. 

وبعد تحسين معلمات العملية، يمكن استخدامها عند درجة حرارة 1100 درجة مئوية؛ يمكن لأجهزة قياس الضغط ذات الأغشية الرقيقة Ni-CrAlY أن تتحمل درجات حرارة تصل إلى 800 درجة مئوية. يمكن لمواد السيراميك الانضغاطي أن تتحمل درجات حرارة أعلى من السبائك في الوقت الحاضر، وتشمل مقاييس انفعال السيراميك الانضغاطي أنواع ITO (أكسيد القصدير الإنديوم) وTaN 2. يمكن أن تعمل أجهزة قياس الضغط ذات الأغشية الرقيقة ITO في درجة حرارة الغرفة ورقة بيانات مستشعر المدى بالموجات فوق الصوتية ، ولكن مستوى الضغط ودرجة الحرارة لهما تأثير كبير على معامل التباين، والذي يحدث بشكل رئيسي بسبب انتشار الأكسجين في فيلم ITO. يمكن لمقاييس سلالة الأغشية الرقيقة TaN أن تتحمل درجات حرارة تصل إلى 400 درجة مئوية. معلمات العملية لها تأثير كبير على البنية المجهرية لمستشعر نطاق الموجات فوق الصوتية للأغشية الرقيقة TaN. معامل المقاومة ومعامل الانفعال لمقاييس سلالة الأغشية الرقيقة. إن معامل درجة الحرارة TCR لمقاومة السيراميك الانضغاطي والسبائك يتعارض مع بعضها البعض ويمكن أن يلغي بعضها البعض. 

في الوقت الحاضر، يتم تصنيع مقاييس الضغط ذات الأغشية الرقيقة متعددة الطبقات من السيراميك الانضغاطي وتم إنتاج السبائك. TaN غير مستقر في الهواء فوق 500 درجة مئوية، وبالتالي فإن درجة حرارة استخدام أجهزة قياس الضغط متعددة الطبقات TaN/PdCr لا تتجاوز 500 درجة مئوية. يتم استخدام تيتانات السترونتيوم الباريوم كوسيط حساس لمستشعر قياس المسافة بالموجات فوق الصوتية بالسعة، والقطب PdCr كمقياس سلالة الأغشية الرقيقة ذات درجة الحرارة العالية يعتمد هيكلًا متداخلًا من اللوحة المسطحة ويمكنه تحمل درجة حرارة عالية تصل إلى 500 درجة مئوية.