ultrasone transducer met dunne film op hoge temperatuur

Een breed scala aan dunnefilms voor hoge temperaturen ultrasone transducer worden geïntroduceerd. Dunne-film-rekstrookjes op hoge temperatuur en dunne-film-rekstrookjes op hoge temperatuur worden in een vroeg stadium gebruikt voor dunne films van legeringen, gekoppeld aan de gevoelige materialen. Vanwege de verschillende materiaaleigenschappen en productieprocessen van ultrasone afstandstransducer , dunne-film rekstrookjes zijn gemaakt van verschillende legeringen. Die bestand zijn tegen de temperatuur varieert enorm. Dunne-film rekstrookjes van NiCr-legering zijn bijvoorbeeld bestand tegen testtemperaturen van 600 °C; PdCr-legering dunne-film rekstrookjes kunnen een maximale bedrijfstemperatuur van de ultrasone afstandssensor bereiken. 

Na optimalisatie van procesparameters kunnen ze worden gebruikt bij een temperatuur van 1 100 °C; Ni-CrAlY dunne-film rekstrookjes zijn bestand tegen temperaturen tot 800°C. Piëzo-keramische materialen zijn tegenwoordig bestand tegen hogere temperaturen dan legeringen. Piëzo-keramische rekstrookjes omvatten de typen ITO (Indium Tin Oxide) en TaN 2. ITO dunne-film rekstrookjes kunnen werken bij kamertemperatuur gegevensblad van de ultrasone bereiksensor , maar het spanningsniveau en de temperatuur hebben een groot effect op de variatiecoëfficiënt, die voornamelijk wordt veroorzaakt door de diffusie van zuurstof in de ITO-film. TaN dunne-film rekstrookjes zijn bestand tegen temperaturen tot 400°C. Procesparameters hebben een grote invloed op de microstructuur van TaN dunne films ultrasone bereiksensor. De weerstandscoëfficiënt en rekcoëfficiënt van dunne film rekstrookjes. De TCR-temperatuurweerstandscoëfficiënt van piëzo-keramiek en legeringen is tegengesteld aan elkaar en kan elkaar opheffen. 

Momenteel worden meerlaagse dunne-film rekstrookjes gemaakt van piëzo-keramiek en zijn er legeringen geproduceerd. TaN is instabiel in de lucht boven 500°C, zodat de gebruikstemperatuur van TaN/PdCr meerlaagse rekstrookjes niet hoger is dan 500°C. Het bariumstrontiumtitanaat wordt gebruikt als het gevoelige medium van de capacitieve ultrasone afstandsmeetsensor, en de PdCr-elektrode, aangezien het dunne-filmrekstrookje op hoge temperatuur een vlakke plaat-interdigitatiestructuur aanneemt en een hoge temperatuur van 500 ° C kan weerstaan.