hoë-temperatuur dun-film ultrasoniese transducer

'n Wye reeks hoë-temperatuur dunfilm ultrasoniese transducer word ingestel. hoë-temperatuur dun-film rekmeters en hoë-temperatuur dun-film rek meters word gebruik vir allooi dun films duo tot die sensitiewe materiale in 'n vroeë stadium. As gevolg van verskillende materiaal eienskappe en vervaardigingsprosesse van ultrasoniese afstand transducer , dun-film rekmeters word gemaak deur verskillende legerings .wat kan weerstaan ​​die temperatuur wissel baie. Byvoorbeeld, NiCr-legering dun-film rekmeters kan toetstemperature van 600°C weerstaan; PdCr legering dun-film rekmeters kan 'n maksimum bedryfstemperatuur van ultrasoniese afstand sensor bereik. 

Na optimalisering van prosesparameters kan dit by 'n temperatuur van 1 100°C gebruik word; Ni-CrAlY dun-film rekmeters kan temperature tot 800°C weerstaan. piëzo keramiek materiaal kan tans hoër temperature as legerings weerstaan, piëzo keramiek rekmeters sluit ITO (Indium Tin Oxide) en TaN 2 tipes in. ITO dun-film strain meters kan werk by kamertemperatuur van ultrasoniese reeks sensor datablad , maar die spanning vlak en temperatuur het 'n groot effek op die koëffisiënt van variasie, wat hoofsaaklik veroorsaak word deur die diffusie van suurstof in die ITO film. TaN-dunfilm-rekmeters kan temperature tot 400°C weerstaan. Proses parameters het 'n groot invloed op die mikrostruktuur van TaN dun film ultrasoniese reeks sensor .die koëffisiënt van weerstand en rek koëffisiënt van dun-film rek meters. Die TCR temperatuurkoëffisiënt van weerstand van piëzo-keramiek en legerings is teenoor mekaar en kan mekaar kanselleer. 

Tans word meerlagige dunfilm-rekmeters van piëzo-keramiek gemaak en legerings is vervaardig. TaN is onstabiel in die lug bo 500°C, so die gebruikstemperatuur van TaN/PdCr-meerlaagvervormingsmeters oorskry nie 500°C nie. Die barium strontium titanaat word gebruik as die sensitiewe medium van die kapasitiewe ultrasoniese afstand meet sensor, en die PdCr elektrode as die hoë temperatuur dun film rekmeter neem 'n plat plaat interdigitale struktuur aan en kan 'n hoë temperatuur van 500°C weerstaan.