высокатэмпературны тонкаплёнкавы ультрагукавой пераўтваральнік

Шырокі спектр высокатэмпературных тонкіх плёнак ультрагукавой пераўтваральнік . ўведзены высокатэмпературныя тонкаплёнкавыя тензодатчики і высокатэмпературныя тонкаплёнкавыя тензодатчики выкарыстоўваюцца для сплаву тонкіх плёнак дуэт адчувальных матэрыялаў на ранняй стадыі. З-за розных характарыстык матэрыялу і працэсаў вытворчасці ультрагукавы датчык адлегласці , тонкаплёнкавыя тензодатчики вырабляюцца з розных сплаваў, якія могуць вытрымліваць тэмпературу, якая моцна вагаецца. Напрыклад, тонкаплёнкавыя тензодатчики са сплаву NiCr вытрымліваюць выпрабавальную тэмпературу 600°C; Тонкаплёнкавыя тензодатчики са сплаву PdCr могуць дасягаць максімальнай працоўнай тэмпературы ультрагукавога датчыка адлегласці. 

Пасля аптымізацыі параметраў працэсу іх можна выкарыстоўваць пры тэмпературы 1100°C; Тонкаплёнкавыя тензодатчики Ni-CrAlY вытрымліваюць тэмпературу да 800°C. П'езакерамічныя матэрыялы могуць вытрымліваць больш высокія тэмпературы, чым сплавы ў цяперашні час, п'езакерамічныя тензодатчики ўключаюць тыпы ITO (аксід волава індый) і TaN 2. Тонкаплёнкавыя тензодатчики ITO могуць працаваць пры пакаёвай тэмпературы тэхнічнае апісанне датчыка ультрагукавога дыяпазону , але ўзровень дэфармацыі і тэмпература аказваюць вялікі ўплыў на каэфіцыент варыяцыі, што ў асноўным выклікана дыфузіяй кіслароду ў плёнцы ITO. Тонкаплёнкавыя тензодатчики TaN вытрымліваюць тэмпературу да 400°C. Параметры працэсу аказваюць вялікі ўплыў на мікраструктуру тонкіх плёнак TaN ультрагукавога датчыка дыяпазону. Каэфіцыент супраціву і каэфіцыент дэфармацыі тонкаплёнкавых тензодатчиков. Тэмпературны каэфіцыент супраціву TCR п'езакерамікі і сплаваў супрацьлеглы адзін аднаму і можа кампенсаваць адзін аднаго. 

У цяперашні час вырабляюць шматслойныя тонкаплёнкавыя тензодатчики з пьезокерамики і сплаваў. TaN нестабільны на паветры пры тэмпературы вышэй за 500 °C, таму тэмпература выкарыстання шматслойных тензодатчиков TaN/PdCr не перавышае 500 °C. Тытанат барыю-стронцыю выкарыстоўваецца ў якасці адчувальнага асяроддзя ёмістнага ультрагукавога датчыка вымярэння адлегласці, а электрод PdCr у якасці высокатэмпературнага тонкаплёнкавага тензодатчика мае плоскую міжпальчатую структуру і можа вытрымліваць высокую тэмпературу 500°C.