transduser ultrasonik filem nipis suhu tinggi

Pelbagai jenis filem nipis suhu tinggi transduser ultrasonik diperkenalkan. tolok terikan filem nipis suhu tinggi dan tolok terikan filem nipis suhu tinggi digunakan untuk duo filem nipis aloi kepada bahan sensitif pada peringkat awal. Disebabkan oleh ciri-ciri bahan yang berbeza dan proses pembuatan transduser jarak ultrasonik , tolok terikan filem nipis dibuat oleh aloi yang berbeza .yang boleh menahan suhu yang berbeza-beza. Sebagai contoh, tolok terikan filem nipis aloi NiCr boleh menahan suhu ujian 600°C; Tolok terikan filem nipis aloi PdCr boleh mencapai suhu operasi maksimum penderia jarak ultrasonik. 

Selepas pengoptimuman parameter proses, ia boleh digunakan pada suhu 1 100°C; Tolok terikan filem nipis Ni-CrAlY boleh menahan suhu sehingga 800°C. bahan seramik piezo boleh menahan suhu yang lebih tinggi daripada aloi pada masa ini, tolok terikan seramik piezo termasuk jenis ITO (Indium Tin Oxide) dan TaN 2. Tolok terikan filem nipis ITO boleh beroperasi pada suhu bilik sebanyak lembaran data sensor julat ultrasonik , tetapi tahap terikan dan suhu mempunyai kesan yang besar pada pekali variasi, yang disebabkan terutamanya oleh penyebaran oksigen dalam filem ITO. Tolok terikan filem nipis TaN boleh menahan suhu sehingga 400°C. Parameter proses mempunyai pengaruh yang besar terhadap struktur mikro filem nipis TaN sensor julat ultrasonik .pekali rintangan dan pekali terikan tolok terikan filem nipis. Pekali suhu TCR rintangan seramik dan aloi piezo adalah bertentangan antara satu sama lain dan boleh membatalkan satu sama lain. 

Pada masa ini, tolok terikan filem nipis berbilang lapisan diperbuat daripada seramik piezo dan aloi telah dihasilkan. TaN tidak stabil di udara melebihi 500°C, jadi suhu penggunaan tolok terikan berbilang lapisan TaN/PdCr tidak melebihi 500 °C. Barium strontium titanate digunakan sebagai medium sensitif bagi sensor pengukuran jarak ultrasonik kapasitif, dan elektrod PdCr sebagai tolok terikan filem nipis suhu tinggi menggunakan struktur interdigitated plat rata dan boleh menahan suhu tinggi 500°C .